{"product_id":"mf052300-semi-mf523-practice-for-unaided-visual-inspection-of-polished-silicon-wafer-surfaces","title":"MF052300 - SEMI MF523 - 研磨されたシリコンウェーハ表面の肉眼による検査の実践","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、シリコンウェーハ世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2018 年 2 月 1 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 7 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。当初は ASTM International によって ASTM F523 として発行されました。以前は 2012 年 10 月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e研磨されたシリコンウェーハは半導体産業によって大量に生産され、さまざまなデバイスの製造に消費されます。表面欠陥は、多くの場合、デバイスの特性に悪影響を及ぼします。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの実践で説明されている欠陥は、適切な照明条件下では肉眼で確認でき、検査はほとんどの消費者と生産者に共通です。したがって、標準品質の研磨済みシリコンウェーハの製造を支援するために、均一な検査技術を使用することが重要です。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの実習では、片面研磨されたシリコンウェーハの表面品質を判定するための検査手順を説明します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの実践は大量の受け入れ方法を目的としており、顕微鏡やその他の光学機器を使用する必要はありません。検査はオペレーターの視力に大きく依存します。したがって、テスト結果はオペレータに非常に依存する可能性があります。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e研磨されたウェーハ表面上の肉眼で見える欠陥は、それらを最もよく描写する照明幾何学によって、前面高強度光、前面拡散光、および背面拡散光の 3 つのグループに分類されます。これらの欠陥は、(1) シリコン結晶の欠陥、および (2) 取り扱いや梱包などの製造プロセスによる損傷の 2 つの原因によって発生します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e説明した検査は通常、研磨および研磨後の洗浄後、梱包前に行われます。洗浄およびパッケージングの手順はこの業務の一部ではありませんが、研磨されたウェーハの品質に対するそのような手順の影響を判断するために、パッケージ化された製品に対して検査が実行される場合があります。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e SI単位で記載されている値は目安となります。括弧内の値は情報提供のみを目的としています。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI C41 — 2-プロパノールの仕様とガイド\u003cbr\u003eSEMI M59 — シリコンテクノロジーの用語\u003c\/font\u003e \u003cbr\u003eSEMI MF154 — シリコンの鏡面に見られる構造と汚染物質の特定に関するガイド\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"left\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI MF523-1107 (Reapproved 1023) - Current","offer_id":43106888319043,"sku":"17201","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI MF523-1107 (Reapproved 0718) - Superseded","offer_id":43106888351811,"sku":"4959","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI MF523-1107 (再承認 1012) - 置き換えられました","offer_id":40234302636099,"sku":"9958","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI MF523-1107 - 置き換えられました","offer_id":40234302799939,"sku":"9957","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI MF523-0706 - 置き換えられました","offer_id":40234302898243,"sku":"9956","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI MF523-02 - 置き換えられました","offer_id":40234302996547,"sku":"9955","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MFVolume_9d2fe3a0-ca6a-40aa-ab7d-f9f2052c0e5c.png?v=1776702519","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/mf052300-semi-mf523-practice-for-unaided-visual-inspection-of-polished-silicon-wafer-surfaces","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}