{"product_id":"m08300-semi-m83-test-method-for-determination-of-dislocation-etch-pit-density-in-monocrystals-of-iii-v-compound-semiconductors","title":"M08300 - SEMI M83 - III-V族化合物半導体の単結晶における転位エッチピット密度を測定するための試験方法","description":"\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの文書の目的は、テストを指定することです。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e単結晶の転位エッチピット密度の求め方\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eIII-V族化合物半導体GaAs、InP、GaPのウエハ。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH1\"\u003e\u003cspan style=\"font-size: small; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eこの試験方法は以下の測定を対象としています。\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style=\"font-size: small; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e円形のテストスライスと市販のウェーハ上の転位エッチピット密度\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style=\"font-size: small; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e光学顕微鏡を使用したIII-V族化合物半導体の識別と\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style=\"font-size: small; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e転位エッチピットの登録。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e転位エッチピット密度は、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e転位密度または結晶学的完全性の尺度\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e結晶。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの試験方法では、準備方法について説明します。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eIII-V族化合物半導体GaAs、InP、GaPのスライスとウェーハの\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e構造エッチングによる {100} または {111} 表面を持つ。これらのエッチング手順は、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e表面にエッチピットを形成して転位を明らかにするために行われます。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e試験片の。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e記載されている識別方法と\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eエッチピットの登録や評価手順も簡単に行えます。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e単結晶半導体のスライスや他のウェーハにも適用されます。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e適切な構造エッチングがある場合、材料または方向\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e手続きが可能です。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの試験方法は、次のような材料に適用できます。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e転位密度は200,000cm \u003csup\u003e-2\u003c\/sup\u003eまで。抵抗率と\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e材料の導電性タイプは関係ありません。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照SEMI規格\u003c\/b\u003e（別途購入）\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI M10 — 見られる構造と特徴を識別するための用語\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eガリウムヒ素ウエハについて\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI M20 — ウェーハ座標系確立の実践\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI M40 — シリコン上の平面の粗さ測定のためのガイド\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eウエハース\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI M59 — シリコンテクノロジーの用語\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI MF26 — 物の方向を決定するための試験方法\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e半導体単結晶\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M83-1125 - 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