{"product_id":"m08100-semi-m81-guide-to-defects-found-in-monocrystalline-silicon-carbide-substrates","title":"M08100 - SEMI M81 - 単結晶炭化ケイ素基板で見つかった欠陥に関するガイド","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、化合物半導体材料グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 12 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 4 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は2011年6月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのガイドの目的は、炭化ケイ素ウェーハに見られるさまざまな特徴や欠陥をリスト化し、図示し、参考資料を提供することです。推奨される観察方法は、利用可能な標準に限り参照されています。このガイドで説明されている成果物は、テスト方法の開発をサポートし、SEMI M55 の内容をサポートすることを目的としています。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e産業用途に潜在的に関連する単結晶 SiC 基板上で観察された欠陥を特定し、主にこれらの欠陥に関連する写真、写真、その他の関連データによる例に基づいて説明します。\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e欠陥用語は必要に応じて見直され、適応されます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書では、SiC 基板上に成長させたエピタキシャル層については説明しません。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003eSEMI M55 — 研磨単結晶炭化ケイ素ウェーハの仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cbr\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M81-0418 - 現在","offer_id":40234299850819,"sku":"4906","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M81-0611 - 置き換えられました","offer_id":40234300014659,"sku":"9766","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_b66d1df3-1d94-45b2-b2aa-d164f1c52945.png?v=1776702577","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/m08100-semi-m81-guide-to-defects-found-in-monocrystalline-silicon-carbide-substrates","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}