{"product_id":"m07800-semi-m78-量産時における130nmから22nm世代のパターンなしシリコンウェーハ上のナノトポグラフィー決定に関するガイド","title":"M07800 - SEMI M78 - 量産時における130nmから22nm世代のパターンなしシリコンウェーハ上のナノトポグラフィー決定に関するガイド","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e本基準は、global Silicon Wafer Committee \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003eで技術\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e的に承認されている。現\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e版は2010年8月27日、global Audits and Reviews Subcommittee \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003eにて\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e発行が承認された。 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003eで入手可能となります。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c?xml:namespace prefix = o ns = \"urn:schemas-microsoft-com:office:office\" \/\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0in 0in 0pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in; mso-list: none; tab-stops: 35.0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003eウェーハ表表面の規定距離に亘る高さ変動は\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e，\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e検討された工程段階に許容できるウェーハを保証するために適切に制御される必要がある。 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e化学機械的平坦化(CMP)工程前のウェーハ表面ナノトグラフィーは、回路性能、工程原価や歩留に負けの帰結の可能性を持つ\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003eCMP \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e後の膜厚変動を生ずる。ナノトポグラフィー特性は、ある領域内の高さ変動により特徴付けられ、その空間領域により同様な高さの他の特性から区別される。このガイドは、ナノトグラフィーポーの表または裏表面測定のどちらにも適用できる。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in; mso-list: none; tab-stops: 35.0pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in; mso-list: none; tab-stops: 35.0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003eこのガイドは，手順とナノトポロジーデータを生成する際に，異なる可能性の選択肢を選ぶための決定系図(図1)を用意している。このガイドは、シリコンウェーハの取引のために使用することを意図するものであり、選択肢のより広い範囲やデータ報告形式が正しくなる工程開発を意図するものではない。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI M1 — 研磨単結晶シリコンウェーハの仕様\u003cbr\u003eSEMI M20 — ウェーハ座標系確立の実践\u003cbr\u003eSEMI M43 — ウェーハナノトポグラフィーのレポートガイド\u003cbr\u003eSEMI M49 — 130 nm ～ 22 nm テクノロジー世代のシリコンウェーハの形状測定装置を指定するためのガイド\u003cbr\u003eSEMI M59 — シリコンテクノロジーの用語 M1 — 研磨単結晶シリコンウェーハの仕様\u003cbr\u003eSEMI M20 — ウェーハ座標系確立の実践\u003cbr\u003eSEMI M43 — ウェーハナノトポグラフィーのレポートガイド\u003cbr\u003eSEMI M49 — 130 nm ～ 22 nm テクノロジー世代のシリコンウェーハの形状測定装置を指定するためのガイド\u003cbr\u003eSEMI M59 — シリコンテクノロジーの用語\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M78-1110 - 置き換えられました","offer_id":40234356277315,"sku":"9751","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_967de629-746e-440e-aa8d-e14eb5ea439a.png?v=1776702026","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/m07800-semi-m78-%e9%87%8f%e7%94%a3%e6%99%82%e3%81%ab%e3%81%8a%e3%81%91%e3%82%8b130nm%e3%81%8b%e3%82%8922nm%e4%b8%96%e4%bb%a3%e3%81%ae%e3%83%91%e3%82%bf%e3%83%bc%e3%83%b3%e3%81%aa%e3%81%97%e3%82%b7%e3%83%aa%e3%82%b3%e3%83%b3%e3%82%a6%e3%82%a7%e3%83%bc%e3%83%8f%e4%b8%8a%e3%81%ae%e3%83%8a%e3%83%8e%e3%83%88%e3%83%9d%e3%82%b0%e3%83%a9%e3%83%95%e3%82%a3%e3%83%bc%e6%b1%ba%e5%ae%9a%e3%81%ab%e9%96%a2%e3%81%99%e3%82%8b%e3%82%ac%e3%82%a4%e3%83%89","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}