{"product_id":"m07700-semi-m77-test-method-for-determining-wafer-near-edge-geometry-using-roll-off-amount-roa","title":"M07700 - SEMI M77 - ロールオフ量、ROA を使用してウェーハのニアエッジ形状を決定するための試験方法","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eウェーハのニアエッジ形状は歩留まりに大きく影響する可能性があります\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e半導体デバイス加工の分野。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eニアエッジの幾何学的特性に関する知識は、\u003c\/span\u003e\n\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e生産者と消費者は、製品の寸法特性がどうかを決定します。\u003c\/span\u003e\n\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e試料ウェーハは所定の幾何学的要件を満たします。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eロールオフ量 (ROA) の指標は次のような場合に適しています。\u003c\/span\u003e\n\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e半導体デバイスに使用されるウェーハのエッジ付近の形状を定量化する\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e処理。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eこれまたは他のものの使用を考慮する必要があります。\u003c\/span\u003e\n\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e材料ではなくプロセス制御ツールとしてエッジ形状メトリクスを提案\u003c\/span\u003e\n \n交換仕様。 \u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eこのテスト方法はニアエッジの計算をカバーします。\u003c\/span\u003e\n\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eジオメトリ指標 ROA。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eROA の計算は、次の高さデータに基づいています。\u003c\/span\u003e\n\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e1 つまたは複数の高さデータ プロファイルを表す\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e表面か裏面か厚みか。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eこのテスト方法では、\u003c\/span\u003e\n\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eROA が決定され、基準線がこの決定に使用されます。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eこの試験方法はウェーハのカテゴリに適用できます\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e先進的なIC製造で使用されるSEMI M1で指定されています。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eこの試験方法は以下に適していることが示されています。\u003c\/span\u003e\n\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eエッジ近傍の形状を定量化して、ウェーハエッジでの CMP パフォーマンスを向上させます。 FROA\u003c\/span\u003e\n\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eその研究における値は、エッジ参照座標系を使用して測定されました。\u003c\/span\u003e\n\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e一方、大量生産形状の測定システム\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e(例えば、ウェーハ全体の平坦度) は中心基準の座標系を使用します。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eこのテスト方法では、次のことが可能になります。\u003c\/span\u003e\n\n \u003cspan style='font-size:10.0pt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eエッジ参照または中心参照の座標系の使用。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cspan style=\"mso-bookmark:OLE_LINK3\"\u003e\u003c\/span\u003e\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eニアエッジ幾何学的なメトリクスは他にもあります\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eプロパティの一部は、より具体的な側面を定量化します。これらは外側にあります\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eこの実践の範囲。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eこの試験方法では高さの取得は対象外です\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eデータ配列。ただし、高さデータの必要な特性は得られます。\u003c\/span\u003e\n\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e配列。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cb\u003e参照SEMI規格\u003c\/b\u003e（別途購入）\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M1 — 研磨単結晶シリコンの仕様\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eウエハース\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M20 — ウェーハ座標を確立するための実践\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eシステム\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M59 — シリコンテクノロジーの用語\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M67 — ウェーハのニアエッジを判定するための試験方法\u003c\/span\u003e\n \nESFQR、ESFQD、ESBIR を使用した測定厚さデータ配列からのジオメトリ\n\nメトリクス\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M68 — ウェーハのニアエッジを判定するための試験方法\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e曲率メトリクス ZDD を使用した、測定された高さデータ配列からのジオメトリ\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M70 — ウェーハのニアエッジを判定するための試験方法\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e部分的なウェーハサイトの平坦性を使用した形状\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cb\u003e改訂履歴\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M77-1015 (再承認 0421)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M77-1015 (技術改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M77-1110 (初公開)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M77-1015 (再承認 0421) - 現在","offer_id":40234302242883,"sku":"14490","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M77-1015 - 置き換えられました","offer_id":40234302373955,"sku":"4900","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M77-1110 - 置き換えられました","offer_id":40234302406723,"sku":"9749","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_177c17eb-6325-42c7-9f9e-dc776768250d.png?v=1776702581","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/m07700-semi-m77-test-method-for-determining-wafer-near-edge-geometry-using-roll-off-amount-roa","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}