{"product_id":"m07700-semi-m77-ロールオフ量roaを使ってウェーハのエッジ近傍形状を決定するための作業方法","title":"M07700 - SEMI M77 - ロールオフ量（ROA）を使ってウェーハのエッジ近傍形状を決定するための作業方法","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e本基準は、global Silicon Wafer Committee \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003eで技術\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e的に承認されている。現\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e版は2010年8月27日、global Audits and Reviews Subcommittee \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003eにて\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e発行が承認された。 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003eで入手可能となります。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c!--?xml:namespace prefix = o ns = \"urn:schemas-microsoft-com:office:office\" \/--\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0in 0in 0pt\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in; mso-list: none; tab-stops: 35.0pt\"\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003eウェーハエッジ近傍形状は半導体デバイス工程の歩留りに大きく影響する。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\n\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in; mso-list: none; tab-stops: 35.0pt\"\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in; mso-list: none; tab-stops: 35.0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003eエッジ近傍の幾何学的特性情報は製造者や消費者がウェーハの寸法特性が与えられた幾何学的要求を満たしているかどうか決定することを手助けできる。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in; mso-list: none; tab-stops: 35.0pt\"\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in; mso-list: none; tab-stops: 35.0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003eROA（Roll-Off Amount）法は半導体デバイス工程で使われるウェーハのエッジ近傍形状を定量化するのに適している。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in; mso-list: none; tab-stops: 35.0pt\"\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in; mso-list: none; tab-stops: 35.0pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの作業法または提案されたエッジ近傍形状評価法は、材料購入仕様に使うより適宜、プロセスを管理するツールとして使うことに留意すべきである。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI M1 — 研磨単結晶シリコンウェーハの仕様\u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI M20 — ウェーハ座標系確立の実践\u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI M59 — シリコンテクノロジーの用語\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M77-1110 - 置き換えられました","offer_id":40234300670019,"sku":"4901","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_9765b880-c474-4c0d-b91a-3c5867ae6678.png?v=1776702581","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/m07700-semi-m77-%e3%83%ad%e3%83%bc%e3%83%ab%e3%82%aa%e3%83%95%e9%87%8froa%e3%82%92%e4%bd%bf%e3%81%a3%e3%81%a6%e3%82%a6%e3%82%a7%e3%83%bc%e3%83%8f%e3%81%ae%e3%82%a8%e3%83%83%e3%82%b8%e8%bf%91%e5%82%8d%e5%bd%a2%e7%8a%b6%e3%82%92%e6%b1%ba%e5%ae%9a%e3%81%99%e3%82%8b%e3%81%9f%e3%82%81%e3%81%ae%e4%bd%9c%e6%a5%ad%e6%96%b9%e6%b3%95","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}