{"product_id":"m07400-semi-m74-直径450mmメカニカルハンドリング鏡面ウェーハの仕様","title":"M07400 - SEMI M74 - 直径450mmメカニカルハンドリング鏡面ウェーハの仕様","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e本基準は、global Silicon Wafer Committee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで技術\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e的に承認されている。現\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e版は2008年8月29日、global Audits and Reviews Subcommittee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eにて発行が承認された。 \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e2008年10\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月にwww.semi.org\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで、そして\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e2008年11\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月にCD-ROM\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで入手可能となりました。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eこのドキュメント\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eは、450mmウェーハ、キャリア、ロードポート、AMHSとロボットなどの450mm半導体装置の研究、開発、初期設計検討に使うことを意図した450mmメカニカルハンドリングウェーハの仕様を決定しました。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eこの仕様は、直径450mm鏡面ウェーハの寸法要求をカバーする。この仕様は、ハンドリングウェーハの短期的なニーズを扱うことを意図する。プロセス開発やある技術を特定したデバイス製造に使用可能な品質を持ったウェーハプロセス開発用ウェーハ仕様、プライムウェーハ仕様とデバイス製造に使える品質を持ったウェーハの技術的なガイドラインによってこの規格は取って代わるべきである。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e購入仕様全体としては、物理特性をその大きさを求める測定法とともに追加仕様とする必要があろう（§5\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eを参照）。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eここにある基本仕様を満たすウェーハは、装置のセットアップやロボットハンドリングに適用する「メカニカルハンドリング」ウェーハとして使用に適している。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e一応\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e、SI \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e（System International \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e、一般にメートル法と呼ばれる）単位が使われる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI M1 — 研磨単結晶シリコンウェーハの仕様\u003cbr\u003eSEMI M20 — ウェーハ座標系確立の実践\u003cbr\u003eSEMI M59 — シリコンテクノロジーの用語\u003cbr\u003eSEMI MF533 — シリコンウェーハの厚さと厚さのばらつきの試験方法\u003cbr\u003eSEMI MF928 — 円形半導体ウェーハおよびリジッドディスク基板のエッジ輪郭の試験方法\u003cbr\u003eSEMI MF1152 — シリコンウェーハのノッチ寸法の試験方法\u003cbr\u003eSEMI MF1390 — 自動非接触スキャンによるシリコンウェーハの反り測定の試験方法\u003cbr\u003eSEMI MF1451 — 自動非接触スキャンによるシリコンウェーハのソリを測定する試験方法\u003c\/font\u003e \u003cbr\u003eSEMI MF1530 — 自動非接触スキャンによるシリコンウェーハの平坦度、厚さ、総厚さのばらつきを測定する試験方法\u003cbr\u003eSEMI T3 — ウェーハボックスラベルの仕様\u003cbr\u003eSEMI T7 — 二次元マトリックスコードシンボルを使用した両面研磨ウェーハの裏面マーキングの仕様\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M74-1108 (再承認 0413) - 置き換えられました","offer_id":40234362568771,"sku":"9743","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M74-1108 - 置き換えられました","offer_id":40234362699843,"sku":"9741","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_d09a1fff-52ed-491b-9167-2bede90ae39a.png?v=1776702031","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/m07400-semi-m74-%e7%9b%b4%e5%be%84450mm%e3%83%a1%e3%82%ab%e3%83%8b%e3%82%ab%e3%83%ab%e3%83%8f%e3%83%b3%e3%83%89%e3%83%aa%e3%83%b3%e3%82%b0%e9%8f%a1%e9%9d%a2%e3%82%a6%e3%82%a7%e3%83%bc%e3%83%8f%e3%81%ae%e4%bb%95%e6%a7%98","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}