{"product_id":"m07300-semi-m73-test-method-for-extracting-relevant-characteristics-from-measured-wafer-edge-profiles","title":"M07300 - SEMI M73 - 測定されたウェーハエッジプロファイルから関連特性を抽出するための試験方法","description":"\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e知らせ：\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの文書は編集上若干の変更を加えて再承認されました。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eセミ\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eM1 は、シリコン ウェーハの成形エッジの輪郭を次のように指定します。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eによって製造されたウェーハエッジプロファイルの幅広いバリエーションを可能にするテンプレート\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eシリコンサプライヤーは今後も仕様を満たす必要があります。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eの\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \n多くの高度なウェーハアプリケーション、より厳格なエッジ仕様\n\nプロファイルは、後続の回路処理の変動を制御するために必要です。\n\nこれらの仕様には、多くの場合、特定の特性の値が含まれています。\n\nエッジプロファイル輪郭のセグメントを記述します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eあ\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eエッジプロファイルにより厳しい公差を指定するには、合意が必要です\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eエッジを記述するために使用される関連する特性の名前について\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eプロファイルと、測定されたエッジからこれらの特性を抽出する方法\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eプロフィール。したがって、これらのテスト方法で使用される用語は、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eシリコンウェーハのエッジプロファイルの特徴とその名称\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e意味を模式図で説明します。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこれ\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e規格では、これらの特性を試験結果から導き出すための 2 つの試験方法をカバーしています。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e測定されたエッジプロファイル。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH1\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこれらは\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eどちらのテスト方法も業界内で使用されています。それらはフィッティングに基づいています。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e直線、円弧、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eまたは接線を使用して、次のようなプロファイル セグメント パラメータの値を取得します。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsListBulleted\"\u003e\u003c!--[if !supportLists]--\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bidi-font-size:10.0pt;font-family:Symbol;mso-fareast-font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; Symbol;mso-bidi-font-family:Symbol\"\u003e· \u003cspan style='font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-stretch: normal; line-height: normal; font-family: \"Times New Roman\";'\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c!--[endif]--\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style='mso-bidi-font-size:10.0pt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eベベル角度、\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsListBulleted\"\u003e \u003c!--[if !supportLists]--\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bidi-font-size:10.0pt;font-family:Symbol;mso-fareast-font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; Symbol;mso-bidi-font-family:Symbol\"\u003e· \u003cspan style='font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-stretch: normal; line-height: normal; font-family: \"Times New Roman\";'\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c!--[endif]--\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style='mso-bidi-font-size:10.0pt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eエッジの幅、\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsListBulleted\"\u003e\u003c!--[if !supportLists]--\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bidi-font-size:10.0pt;font-family:Symbol;mso-fareast-font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; Symbol;mso-bidi-font-family:Symbol\"\u003e· \u003cspan style='font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-stretch: normal; line-height: normal; font-family: \"Times New Roman\";'\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c!--[endif]--\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style='mso-bidi-font-size:10.0pt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e頂点の長さ、\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsListBulleted\"\u003e \u003c!--[if !supportLists]--\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bidi-font-size:10.0pt;font-family:Symbol;mso-fareast-font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; Symbol;mso-bidi-font-family:Symbol\"\u003e· \u003cspan style='font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-stretch: normal; line-height: normal; font-family: \"Times New Roman\";'\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c!--[endif]--\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style='mso-bidi-font-size:10.0pt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e頂角、\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\n\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style='mso-bidi-font-size:10.0pt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eと\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsListBulleted\"\u003e\u003c!--[if !supportLists]--\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bidi-font-size:10.0pt;font-family:Symbol;mso-fareast-font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; Symbol;mso-bidi-font-family:Symbol\"\u003e· \u003cspan style='font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-stretch: normal; line-height: normal; font-family: \"Times New Roman\";'\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c!--[endif]--\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style='mso-bidi-font-size:10.0pt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eショルダー\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\n\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style='mso-bidi-font-size:10.0pt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e半径。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style=\"line-height: 107%; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style=\"line-height: 107%; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eまた、基準点の位置は、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style=\"line-height: 107%; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eエッジプロファイルのさまざまなセグメントを分離して決定します。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style=\"line-height: 107%; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style=\"line-height: 107%; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eセミ\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eM1 — 研磨単結晶シリコンウェーハの仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark:_Hlk533165501\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI M20 — を確立するための実践\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style=\"mso-bookmark:_Hlk533165501\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eウェーハ座標系\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n \u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark:_Hlk533165501\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI M59 — シリコンの用語\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style=\"mso-bookmark:_Hlk533165501\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eテクノロジー\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark:_Hlk533165501\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI M76 — 仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\n\n\u003cspan style=\"mso-bookmark:_Hlk533165501\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e開発中の直径 450 mm 研磨単結晶シリコン ウェーハ\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark:_Hlk533165501\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M73-0125 - Current","offer_id":43106891464771,"sku":"18246","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M73-1013E (Reapproved 1019) - Superseded","offer_id":43106891497539,"sku":"13534","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M73-1013E - 置き換えられました","offer_id":40234290085955,"sku":"4897","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M73-1013 - 置き換えられました","offer_id":40234290217027,"sku":"9736","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M73-0309 - 置き換えられました","offer_id":40234290380867,"sku":"9734","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M73-1108 - 置き換えられました","offer_id":40234290479171,"sku":"9738","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_9583c451-4c83-4b91-8066-30ded36d9dd5.png?v=1776702584","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/m07300-semi-m73-test-method-for-extracting-relevant-characteristics-from-measured-wafer-edge-profiles","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}