{"product_id":"m07300-semi-m73-測定したウェーハエッジプロファイルから直接的関連性ある特性を抽出するテスト方法","title":"M07300 - SEMI M73 - 測定したウェーハ刃エッジから直接的関連性のある特性を抽出するテスト方法","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e本基準は、global Silicon Wafer Committee \u003cspan style=\"mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003eで技術\u003cspan style=\"mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e的に承認されている。現版は2008年11\u003cspan style=\"mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e月19日、global Audits and Reviews Subcommittee \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003eにて発行が承認された。 \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e2009年2 \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月にwww.semi.org \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e、そして2009 \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年3月にCD-ROM \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで入手可能となりました。 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e初版は\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e2008 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e11 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月に発行されました。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0in 0in 0pt\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 9pt; FONT-WEIGHT: normal; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eSEMI M1ではシリコンウェーハエッジ形状の輪郭線をテンプレートで規格化しているが、その方法では複数のシリコンサプライヤーによって製造されたウェーハエッジに規定内ではあるが幅広い変動を許容するところがあります。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e多くの先端ウェーハ応用では、引き続く電子回路製造工程での変動を制御するためにエッジのより狭い規格化が要求されている。の特性の値を含みます。\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 9pt; FONT-WEIGHT: normal; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eエッジ処方に関するより狭い許容誤差を規定することに対する先行必要条件はエッジ処方を行うために使われる直接的な関連性のある特性の名前と測定したエッジ処方からこれらの特性を抽出するための方法についてそれ故これらのテスト方法では、シリコンウェーハエッジの特性を考慮して使われる用語が命名されるその意味が概略図形で例証される。\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eこの標準は測定した刃物からこれらの特性を導くための二つのテスト方法を包む。\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI M1 — 研磨単結晶シリコンウェーハの仕様\u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI M20 — ウェーハ座標系確立の実践\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI M59 — シリコンテクノロジーの用語\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M73-1013 - 置き換えられました","offer_id":40234366959683,"sku":"9737","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M73-0309 - 置き換えられました","offer_id":40234366992451,"sku":"9735","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M73-1108 - 置き換えられました","offer_id":40234367025219,"sku":"9739","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_d51aebe7-0747-4ded-b7ca-c506aa95b612.png?v=1776702032","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/m07300-semi-m73-%e6%b8%ac%e5%ae%9a%e3%81%97%e3%81%9f%e3%82%a6%e3%82%a7%e3%83%bc%e3%83%8f%e3%82%a8%e3%83%83%e3%82%b8%e3%83%97%e3%83%ad%e3%83%95%e3%82%a1%e3%82%a4%e3%83%ab%e3%81%8b%e3%82%89%e7%9b%b4%e6%8e%a5%e7%9a%84%e9%96%a2%e9%80%a3%e6%80%a7%e3%81%82%e3%82%8b%e7%89%b9%e6%80%a7%e3%82%92%e6%8a%bd%e5%87%ba%e3%81%99%e3%82%8b%e3%83%86%e3%82%b9%e3%83%88%e6%96%b9%e6%b3%95","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}