{"product_id":"m07000-semi-m70-パーシャルサイト平坦度を使ってウェーハのエッジ近傍形状を決定するための作業方法","title":"M07000 - SEMI M70 - パーシャルサイト平坦度を使ってウェーハのエッジ近傍形状を決定するための作業方法","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e本基準は、グローバル\u003cspan style=\"COLOR: black; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003eシリコン\u003cspan style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003eウェーハ委員会で技術\u003cspan style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e的に承認されている。現版は2009年9 \u003cspan lang=\"EN-GB\" style=\"COLOR: black; mso-bidi-font-size: 9.0pt; mso-ansi-language: EN-GB\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e月4日、グローバル監査審査小委員会\u003cspan style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003eにて\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e発行が承認された。 \u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003eで、そして2009年11月にCD-ROM \u003cspan style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで入手可能\u003cspan lang=\"JA\" style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eとなりました。 \u003cspan lang=\"EN-GB\" style=\"COLOR: black; mso-ansi-language: EN-GB; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e初版は2007年\u003cspan lang=\"EN-GB\" style=\"COLOR: black; mso-ansi-language: EN-GB; mso-fareast-language: JA\"\u003e3 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月発行、前版は\u003cspan lang=\"EN-GB\" style=\"COLOR: black; mso-ansi-language: EN-GB; mso-fareast-language: JA\"\u003e2008 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan lang=\"EN-GB\" style=\"COLOR: black; mso-ansi-language: EN-GB; mso-fareast-language: JA\"\u003e11 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月に発行されました。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c?xml:namespace prefix = o ns = \"urn:schemas-microsoft-com:office:office\" \/\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0in 0in 0pt\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eウェーハエッジ近傍形状は半導体デバイス工程の歩留りに大きく影響する。\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eエッジ近傍の幾何学的特性情報は製造者や消費者がウェーハの寸法特性が与えられた幾何学的要求を満たしているかどうか決定することを手助けできる。\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e本作業方法は、半導体デバイス工程で使われるウェーハのエッジ近傍形状を定量化するのに適している。 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003ePSFQRまたはPSFQD法は，ウェーハエッジの大半をカバーするサイトパターンを採用した場合に，ウェーハエッジ近傍形状を定量化するのに適している。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e平坦度指標は確立された指標であり、それではないパーサイト平坦度はエッジシャルについての材料取引仕様として、また、プロセス管理の手段として利用できる。\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eエッジの特定の特性を定量化するには他の指標（例、 \u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eZDD \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e、 \u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eESFQR \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e、 \u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eROA \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e）もあります。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI M1 — 研磨単結晶シリコンウェーハの仕様\u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI M20 — ウェーハ座標系確立の実践\u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI M49 — 130 nm ～ 22 nm テクノロジー世代のシリコンウェーハの形状測定システムを指定するためのガイド\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M70-1109 - 置き換えられました","offer_id":40234283237443,"sku":"4894","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_fc6f0bf8-a1ba-4384-a70c-de4694bc083e.png?v=1776702586","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/m07000-semi-m70-%e3%83%91%e3%83%bc%e3%82%b7%e3%83%a3%e3%83%ab%e3%82%b5%e3%82%a4%e3%83%88%e5%b9%b3%e5%9d%a6%e5%ba%a6%e3%82%92%e4%bd%bf%e3%81%a3%e3%81%a6%e3%82%a6%e3%82%a7%e3%83%bc%e3%83%8f%e3%81%ae%e3%82%a8%e3%83%83%e3%82%b8%e8%bf%91%e5%82%8d%e5%bd%a2%e7%8a%b6%e3%82%92%e6%b1%ba%e5%ae%9a%e3%81%99%e3%82%8b%e3%81%9f%e3%82%81%e3%81%ae%e4%bd%9c%e6%a5%ad%e6%96%b9%e6%b3%95","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}