{"product_id":"m06700-semi-m67-測定した厚さデータ配列からesfqr-esfqd-esbir-metrics法を使ってウェーハのエッジ近傍形状を決定するための作業方法","title":"M06700 - SEMI M67 - 測定した厚さデータ配列からESFQR、ESFQD、ESBIR METRICS法を使ってウェーハのエッジ近傍形状を決定するための作業方法","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e本基準は、グローバル\u003cspan style=\"COLOR: black; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003eシリコン\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003eウェーハ委員会で技術的に承認されている。現版は2009年9 \u003cspan style=\"COLOR: black; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e月4\u003cspan style=\"COLOR: black; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e日、グローバル監査審査小委員会\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003eにて\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e発行が承認された。 \u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003eで、そして2009年11月にCD-ROM \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで入手可能となりました。 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e初版は2006年\u003cspan style=\"COLOR: black; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e11月発行、前版は\u003cspan style=\"COLOR: black; mso-fareast-language: JA\"\u003e2008 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"COLOR: black; mso-fareast-language: JA\"\u003e11 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月に発行されました。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0in 0in 0pt\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ch2 style=\"TEXT-ALIGN: justify; MARGIN: 3pt 0in; TEXT-JUSTIFY: inter-ideograph; tab-stops: 35.0pt\"\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eウェーハエッジ近傍形状は半導体半導体工程の歩留に大きく影響する。\u003c\/span\u003e\n\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"TEXT-ALIGN: justify; MARGIN: 3pt 0in; TEXT-JUSTIFY: inter-ideograph; tab-stops: 35.0pt\"\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ch2 style=\"TEXT-ALIGN: justify; MARGIN: 3pt 0in; TEXT-JUSTIFY: inter-ideograph; tab-stops: 35.0pt\"\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eエッジ近傍の幾何学的特性情報は製造者や消費者がウェーハの寸法特性が与えられた幾何学的要求を満たしているかどうか決定することを手助けできる。\u003c\/span\u003e\n\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"TEXT-ALIGN: justify; MARGIN: 3pt 0in; TEXT-JUSTIFY: inter-ideograph; tab-stops: 35.0pt\"\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ch2 style=\"TEXT-ALIGN: justify; MARGIN: 3pt 0in; TEXT-JUSTIFY: inter-ideograph; tab-stops: 35.0pt\"\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eこの作業法は半導体素子工程で使われるウェーハのエッジ近傍形状の平坦性状況を定量化するのに適している。\u003c\/span\u003e\n\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"TEXT-ALIGN: justify; MARGIN: 3pt 0in; TEXT-JUSTIFY: inter-ideograph; tab-stops: 35.0pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"TEXT-ALIGN: justify; MARGIN: 3pt 0in; TEXT-JUSTIFY: inter-ideograph; tab-stops: 35.0pt\"\u003e \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eESFQR 、 ESFQD または ESBIR メトリック法は SFQR 、 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eSFQD \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eまたは\u003c\/span\u003eSBIR\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003eのような従来法よりもエッジ近傍形状の平坦性状況を定量化するのに最適している。 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eを除くウェーハエッジ上のすべての角度位置で十分にかつ対立せずエッジ近傍形状を定量化する。をカバーしてません。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e \u003c\/h2\u003e\n\u003ch2 style=\"TEXT-ALIGN: justify; MARGIN: 3pt 0in; TEXT-JUSTIFY: inter-ideograph; tab-stops: 35.0pt\"\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ch2 style=\"TEXT-ALIGN: justify; MARGIN: 3pt 0in; TEXT-JUSTIFY: inter-ideograph; tab-stops: 35.0pt\"\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eエッジ近傍形状評価法は，材料購入仕様に使うより適当，プロセスを管理するツールとして使うことに留意すべきである。\u003c\/span\u003e\n\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"TEXT-ALIGN: justify; MARGIN: 3pt 0in; TEXT-JUSTIFY: inter-ideograph; tab-stops: 35.0pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"TEXT-ALIGN: justify; MARGIN: 3pt 0in; TEXT-JUSTIFY: inter-ideograph; tab-stops: 35.0pt\"\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e他にもエッジ近傍形状評価法があり、 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eZDD \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e、 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eROA \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e、 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003ePSFQR \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; COLOR: black; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eのような他の概念を定量化するものもある。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI M1 — 研磨単結晶シリコンウェーハの仕様\u003cbr\u003eSEMI M20 — ウェーハ座標系確立の実践\u003cbr\u003eSEMI M59 — シリコンテクノロジーの用語\u003cbr\u003eSEMI M68 — 曲率メトリクス、ZDD を使用して、測定された高さのデータ配列からウェーハのニアエッジ形状を決定するための実践\u003cbr\u003eSEMI M69 (暫定版) — ロールオフ量、ROA を使用してウェーハのニアエッジ形状を決定するための実践\u003cbr\u003eSEMI M70 — 部分的なウェーハサイトの平坦度を使用してウェーハのニアエッジ形状を決定するための実践\u003cbr\u003eSEMI MF1530 — 自動非接触スキャンによるシリコンウェーハの平坦度、厚さ、総厚さのばらつきを測定する試験方法\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M67-1109 - 置き換えられました","offer_id":40234357882947,"sku":"9725","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_48a77d3c-6df2-46c5-b812-de90bf305744.png?v=1776702033","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/m06700-semi-m67-%e6%b8%ac%e5%ae%9a%e3%81%97%e3%81%9f%e5%8e%9a%e3%81%95%e3%83%87%e3%83%bc%e3%82%bf%e9%85%8d%e5%88%97%e3%81%8b%e3%82%89esfqr-esfqd-esbir-metrics%e6%b3%95%e3%82%92%e4%bd%bf%e3%81%a3%e3%81%a6%e3%82%a6%e3%82%a7%e3%83%bc%e3%83%8f%e3%81%ae%e3%82%a8%e3%83%83%e3%82%b8%e8%bf%91%e5%82%8d%e5%bd%a2%e7%8a%b6%e3%82%92%e6%b1%ba%e5%ae%9a%e3%81%99%e3%82%8b%e3%81%9f%e3%82%81%e3%81%ae%e4%bd%9c%e6%a5%ad%e6%96%b9%e6%b3%95","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}