{"product_id":"m06600-semi-m66-misフラットバンド電圧-絶縁膜厚法を使った-酸化膜-およびhigh-κゲートスタックの有効仕事関数の算出方法","title":"M06600 - SEMI M66 - MISフラットバンド電圧―絶縁膜厚法を使った、酸化膜、およびhigh-κゲートスタックの有効な仕事関数の計算方法","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e本基準は、global Silicon Wafer Committee \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで技術\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e的に承認されている。現版は2006年5月16日、global Audits and Reviews Subcommittee \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eにて発行が承認された。 \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e2006年6 \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月にwww.semi.org \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで、 \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eそして2006年7 \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月にCD-ROM \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで入手可能となりました。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in auto 21.3pt; mso-para-margin-left: 2.13gd\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eE \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e本書は\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e2007 \u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年2月に編集上修正がなされた。変更箇所は，¶ \u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA\"\u003eR2-2.3 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eである。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0in 0in 0pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\n\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bidi-font-style: italic\"\u003eCMOS集積回路の継続的な縮小により，ムーアの法則による予測や，国際半導体技術マップロード（ \u003ci\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eInternational Technology Roadmap for Semiconductors\u003c\/span\u003e\u003c\/i\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold; mso-bidi-font-style: italic\"\u003e）の予測を達成するためには，新規材料やリソグラフィ技術の革新が必要なところ\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eゲート絶縁膜膜厚が1nmに応じて、一般的に使われてきたゲート絶縁膜とゲート電極ができる材料（ \u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003csub\u003eSiO2\u003c\/sub\u003e \u003csub\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e　\u003c\/span\u003e\u003c\/sub\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eとドープされたポリシリコン）の特性では、今後のノードに対応できない。 従来のCMOSに使われている + \u003ci\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eyap\u003c\/span\u003e\u003c\/i\u003e \u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e+ポリシリコンゲート電極に代わる材料を探すため、代替材料候補の有効な仕事関数\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003ci\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eを\u003c\/span\u003e\u003c\/i\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e実験により算出することが新たに注目を集めている。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e \u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\n\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e新たなゲート電極材料に要求される特徴の一つは、シリコン酸化膜（SiO \u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e膜）とSiO \u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eに代わって開発が進められているhigh \u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e-κ \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e膜の両方のゲート絶縁膜のために使えるゲート電極の仕事関数の差は，ゲート電極材料とシリコン基板の特性によるのみに見えるが，さまざまな，金属と絶縁体の相互作用が，有効な仕事関数に影響を考慮して電位シフトを解析発生させることが報告されている。一応、これらの影響を十分考慮したテスト片構造と求められる。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e \u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eこれらの測定が初めて広く使われるようになって以降，プロセス技術やウェーハ作製法が変化したことは，テスト片構造作成と解析方法の変更が必要なことを示している。 ，この変更を明確にすることである。 それは、測定、フラットバンド電圧―絶縁膜厚法より得られたゲート電極有効仕事関数データの測定、解析と報告を含む。\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI M59 — シリコンテクノロジーの用語\u003c\/font\u003e \u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI MF1153 — 容量電圧測定による金属酸化シリコン (MOS) 構造の特性評価のための試験方法\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M66-0706E - 置き換えられました","offer_id":40234301947971,"sku":"4888","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_74fdcff8-69fd-4a87-a284-9e05e9627a74.png?v=1776702590","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/m06600-semi-m66-mis%e3%83%95%e3%83%a9%e3%83%83%e3%83%88%e3%83%90%e3%83%b3%e3%83%89%e9%9b%bb%e5%9c%a7-%e7%b5%b6%e7%b8%81%e8%86%9c%e5%8e%9a%e6%b3%95%e3%82%92%e4%bd%bf%e3%81%a3%e3%81%9f-%e9%85%b8%e5%8c%96%e8%86%9c-%e3%81%8a%e3%82%88%e3%81%b3high-%ce%ba%e3%82%b2%e3%83%bc%e3%83%88%e3%82%b9%e3%82%bf%e3%83%83%e3%82%af%e3%81%ae%e6%9c%89%e5%8a%b9%e4%bb%95%e4%ba%8b%e9%96%a2%e6%95%b0%e3%81%ae%e7%ae%97%e5%87%ba%e6%96%b9%e6%b3%95","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}