{"product_id":"m06000-semi-m60-シリコンウェーハ評価のためのsio2の経時絶縁破壊特性の試験方法","title":"M06000 - SEMI M60 - シリコンウェーハ評価のためのSiO2の経時絶縁破壊特性の試験方法","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e本基準は、global Silicon Wafer Committee \u003cspan style=\"mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003eで技術\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e的に承認されている。現\u003cspan style=\"mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e版は2005年11月29日、global Audits and Reviews Subcommittee \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003eにて発行が承認された。 \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e2006年2 \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月にwww.semi.org \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで、そして2006年3月にCD- \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eROMで入手可能となりました。 \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e初版は2005年\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e1月発行、前版は2005 \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年3 \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月に発行されました。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt 0in\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\n\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eE本スタンダードは\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e2006 \u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e年5月に編集上の修正がなされました。修正箇所は，¶ \u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e10.2.7 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eである。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e \u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e本基準は、GOI（Gate Oxide Integrity ：ゲート酸化膜の完全性）評価をするにつき、ウェーハ評価の固有事項・問題について記載している。より一般的な評価法全般については、§ \u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e3 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eの基準\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\"\u003eM51でのTZDBは、偶発性破壊モード(Bモード)と耐破壊モード(Cモード)による\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e不良\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e率を評価するのに有効である。 \u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e偶発性破壊モードを検出するのに有効である。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI C3.6 — シリンダー内のホスフィン (PH3) の規格、99.98% の品質\u003cbr\u003eSEMI C3.54 — シラン (SiH4) のガス純度ガイドライン\u003cbr\u003eSEMI C21 — 水酸化アンモニウムの仕様とガイドライン\u003cbr\u003eSEMI C27 — 塩酸の仕様とガイドライン\u003cbr\u003eSEMI C28 — フッ化水素酸の仕様とガイドライン\u003cbr\u003eSEMI C30 — 過酸化水素の仕様とガイドライン\u003cbr\u003eSEMI C35 — 硝酸の仕様とガイドライン\u003cbr\u003eSEMI C38 — オキシ塩化リンに関するガイドライン\u003cbr\u003eSEMI C41 — 2-プロパノールの仕様とガイドライン\u003cbr\u003eSEMI C44 — 硫酸の仕様とガイドライン\u003cbr\u003eSEMI C54 — 酸素の仕様とガイドライン\u003cbr\u003eSEMI C59 — 窒素の仕様とガイドライン\u003cbr\u003eSEMI M1 — 研磨単結晶シリコンウェーハの仕様\u003c\/font\u003e \u003cbr\u003eSEMI M51 — ゲート酸化膜の完全性によるシリコンウェーハの特性評価のための試験方法。\u003cbr\u003e SEMI M59 — シリコンテクノロジーの用語 (再承認2000)\u003cbr\u003e SEMI MF1771 — 電圧ランプ技術によるゲート酸化膜の完全性を評価するための標準テスト方法\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M60-0306E2 - 置き換えられました","offer_id":40234289266755,"sku":"4876","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_a4efd107-65fc-4b74-8d3f-4cc269639ddb.png?v=1776702600","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/m06000-semi-m60-%e3%82%b7%e3%83%aa%e3%82%b3%e3%83%b3%e3%82%a6%e3%82%a7%e3%83%bc%e3%83%8f%e8%a9%95%e4%be%a1%e3%81%ae%e3%81%9f%e3%82%81%e3%81%aesio2%e3%81%ae%e7%b5%8c%e6%99%82%e7%b5%b6%e7%b8%81%e7%a0%b4%e5%a3%8a%e7%89%b9%e6%80%a7%e3%81%ae%e8%a9%a6%e9%a8%93%e6%96%b9%e6%b3%95","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}