{"product_id":"m05800-semi-m58-test-method-for-evaluating-dma-based-particle-deposition-systems-and-processes","title":"M05800 - SEMI M58 - DMA ベースの粒子堆積システムおよびプロセスを評価するための試験方法","description":"\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eセミ\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eM52 では、校正に認定標準物質 (CRM) を使用する必要があります。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e走査表面検査システム (SSIS)。校正方法が定義されている\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI M53にあります。このテスト方法は、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e \n微分移動度分析装置を使用した特殊な粒子堆積システム\n(DMA)、必要な CRM を作成できます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e両方\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e社内使用および企業向けに内部で証言録取書を作成する組織\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e販売用の堆積物の製造では、この試験方法を適用して、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e同社の粒子堆積システムは、次の要件を満たす堆積を提供します。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI M52 の要件。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH1\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e範囲\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこれ\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e試験方法には、堆積ピーク直径と\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e関連する拡大された相対結合ピーク直径の不確実性によって生成される\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e粒子堆積システムとそれに関連する堆積手順\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI M52 の 3% 要件との比較。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこれ\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e試験方法には、蒸着システムの能力の判定も含まれます\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e直径分布が 5% 未満の堆積物を生成するには\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e粒子を使用する場合でも、SEMI M52 で要求される半値幅 (FWHM)\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eより広範囲に分布するソース。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこれらは\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eテストでは、堆積システムが DMA (または同等のもの) を使用する必要があります。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eプログラム可能なフィルタリング システム）により、両方のピーク直径の決定を実現します。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e粒子源分布の絞り込み（関連情報 1 を参照）。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこれ\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e試験方法は、1 週間にわたる再現性の決定を対象としています。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e長期的な安定性を確認するためにテストを定期的に繰り返すことができます。長期\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e \nほとんどの DMA ベースの粒子堆積システムの安定性は高いと考えられています。\n 1 年以上かかりますが、テストを繰り返すことをお勧めします。\n年に一度、または機器が制御不能になったと思われるたびに。\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこれ\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e試験方法では 3 種類の異なる粒子分布を使用する必要があります\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e特定の特性を備えたウェーハおよび表面特性を備えたウェーハ\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e捕捉で使用される最小粒子の検出を可能にするのに十分です\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e95%以上の率です。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI M50 — テスト\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e表面スキャンの捕捉率と誤計数率を決定する方法\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eオーバーレイ方式による検査装置\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-style:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;italic'\u003eSEMI M52\u003c\/span\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e— ガイド\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e130用シリコンウェーハ走査面検査装置仕様書\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003enmから11nmのテクノロジー世代\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003c!--[if gte vml 1]\u003e\u003cline id=\"Line_x0020_4\" style=\"position:absolute;left:0;text-align:left;z-index:251661312;\n可視性:可視;mso-wrap-style:square;mso-width-percent:0;\n mso-height-percent:0;mso-wrap- distance-left:9pt;mso-wrap- distance-top:0;\n mso-wrap- distance-right:9pt;mso-wrap- distance-bottom:0;\n mso-position-horizo​​ntal:絶対;mso-position-horizo​​ntal-relative:テキスト;\n mso-position-vertical:絶対;mso-position-vertical-relative:テキスト;\n mso-width-percent:0;mso-height-percent:0;mso-width-relative:page;\n mso-height-relative:page\" from=\"-18pt,18pt\" to=\"-18pt,18pt\" o:spid=\"_x0000_s1026\" o:gfxdata=\"UEsDBBQABgAIAAAAIQC75UiUBQEAAB4CAAATAAAAW0NvbnRlbnRfVHlwZXNdLnhtbKSRvU7DMBSF\n dyTewfKKEqcMCKEmHfgZgaE8wMW+SSwc27JvS\/v23KTJgkoXFsu+P+c7Ol5vDoMTe0zZBl\/LVVlJ\n gV4HY31Xy4\/tS3EvRSbwBlzwWMsjZrlprq\/W22PELHjb51r2RPFBqax7HCCXIaLnThvSAMTP1KkI \n+gs6VLdVdad08ISeCho1ZLN+whZ2jsTzgcsnJwldluLxNDiyagkxOquB2Knae\/OLUSyEkjenmdzb\n 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size=\"2\"\u003eパワースペクトル密度関数と関連する仕上げを推定するためのガイド\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e表面プロファイルデータからのパラメータ\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style=\"line-height: 107%; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M58-1109 (Reapproved 0125) - Current","offer_id":43106891857987,"sku":"18206","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M58-1109 (Reapproved 0320) - Superseded","offer_id":43106891890755,"sku":"13782","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M58-1109 (再承認 0614)E - 置き換えられました","offer_id":40234301194307,"sku":"13506","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M58-1109 (再承認 0614) - 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