{"product_id":"m05800-semi-m58-dmaを基にしたパーティクル堆積システムとプロセス評価のためのテスト方法","title":"M05800 - SEMI M58 - DMAを基にしたパーティクル積システムとプロセス評価のためのテスト方法","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e本基準は、global Silicon Wafer Committee \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで技術\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e的に承認されている。現版は2009年9月4日、global Audits and Reviews Subcommittee \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eにて発行が承認された。2009 \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年10 \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月にwww.semi.org \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e、そして2009 \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年11月にCD-ROM \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで入手可能となりました。初版は\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e2004年7 \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月に発行されました。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0in 0in 0pt\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eSEMI M52は、走査型表面検査システム（ SSISs: 走査面検査システム）の補正のため、認証された標準試料\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e（ CRMs: 認定標準物質\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e）の使用を要求している。補正方法は、 \u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eSEMI M53 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eで規定\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e本テスト法は、差分移動度解析器（ DMA: Differential Mobility Analyzer ）を用いた特定のパーティクル蓄積システムが、要求\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eされているCMR \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eを作成出来るかどうか決定する手順を提供する。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; COLOR: black; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e自家使用のため内部\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eで堆積を行う組織，および販売目的で堆積物を製造する会社は共に，彼らのパーティクル堆積システムがSEMI M52の要求を満たす堆積を保証するため，本テスト方法を適用することが出来る。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI M50 — オーバーレイ法による表面走査検査システムの捕捉率を決定するための試験方法\u003cbr\u003eSEMI M52 — 130 nm、90 nm、65 nm、および 45 nm テクノロジー世代のシリコンウェーハ用走査表面検査システムを指定するためのガイド\u003cbr\u003eSEMI M53 — パターンのない半導体ウェーハ表面への単分散基準球の堆積を使用した走査表面検査システムの校正の実践\u003cbr\u003eSEMI M59 — シリコンテクノロジーの用語\u003cbr\u003eSEMI ME1392 — 鏡面または拡散面での角度分解光学散乱測定のガイド\u003cbr\u003eSEMI MF1811 — 表面プロファイルデータからパワースペクトル密度関数および関連仕上げパラメータを推定するためのガイド\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M58-1109 - 置き換えられました","offer_id":40234305880131,"sku":"4872","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_5c54d39e-a6e8-4208-9b1a-b6c661bda5f6.png?v=1776702603","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/m05800-semi-m58-dma%e3%82%92%e5%9f%ba%e3%81%ab%e3%81%97%e3%81%9f%e3%83%91%e3%83%bc%e3%83%86%e3%82%a3%e3%82%af%e3%83%ab%e5%a0%86%e7%a9%8d%e3%82%b7%e3%82%b9%e3%83%86%e3%83%a0%e3%81%a8%e3%83%97%e3%83%ad%e3%82%bb%e3%82%b9%e8%a9%95%e4%be%a1%e3%81%ae%e3%81%9f%e3%82%81%e3%81%ae%e3%83%86%e3%82%b9%e3%83%88%e6%96%b9%e6%b3%95","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}