SEMI M56 - 計量装置の測定変動と偏りに立つ費用成分の作業法 -

Abstract

本基準は、global Silicon Wafer Committee で技術的に承認されている。現版は2006年11月21日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2007年2 月にwww.semi.org で、そして2007年3 月にCD-ROM で入手可能となりました。初版は2003年11 月に発行されました。

シリコン製造に関して，製品の処置は通常計量装置の出力次第である。 1つのコストモデルが、ある仮定と条件下で運用する計量装置に関連するコストを見積もる方法を提供している。

本法は，計量装置供給者と使用者に，仕様書に適合する製品テストをする際，測定変動と偏りに基づく製品の分類誤りに基づくコストを決定するための標準方法論を提供している。

本法は、定めたP/T （精度／許容）比を持つ測定装置購入の事前評価に役立てよう意図されている。 モードあるいは他のデバイスのセットアップによって変化する場合，あるいはタスループットモードでの操作比較を行うために意図的に行われている。費用解決策を選択する助けとなります。

本法には、伝統的な費用構成要素（例の装置、保守、操業およびスタッフのコスト）のみ不要製品の費用データは含まれない；各利用者は、設備に対して適用可能なビジネスモデルに配慮適切なデータを用いるべきである。

SEMI E35 — 半導体製造装置の所有コスト (COO) 指標を計算するためのガイド
SEMI E89 — 測定システム分析 (MSA) のガイド
SEMI M1 — 研磨単結晶シリコンウェーハ S の仕様
EMI M59 — シリコンテクノロジーの用語

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