{"product_id":"m04900-semi-m49-130-nmから65-nmへの技術世代のシリコンウェーハ用ジオメトリ測定システム規定のためのガイド","title":"M04900 - SEMI M49 - 130 nmから65 nmへの技術世代のシリコンウェーハ用ジオメトリ測定システム規定のためのガイド","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003ch2 style=\"margin: 3pt 0in;\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"font-weight: normal;\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" style=\"\" size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"font-weight: normal;\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"font-weight: normal;\"\u003e\u003cspan style=\"font-weight: normal;\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"font-weight: normal;\"\u003e\u003cspan style=\"font-weight: normal;\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"font-weight: normal;\"\u003e\u003cspan style=\"font-weight: normal;\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"font-weight: normal;\"\u003e\u003cspan style=\"font-weight: normal;\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"font-weight: normal;\"\u003e\u003cspan style=\"font-weight: normal;\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"font-weight: normal;\"\u003e本ガイドは半導体半導体国際技術ロードマップ ： 1999 年版（ ITRS ）によって予測され、主要半導体デバイスメーカーが計画している、 130 、 90 、 65 nm 技術世代のシリコンウェーハのジオメトリおよび平坦度についての測定システムを規定\u003cspan style=\"font-weight: normal;\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"font-weight: normal;\"\u003e\u003cspan style=\"font-weight: normal;\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"font-weight: normal;\"\u003e\u003cspan style=\"font-weight: normal;\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"font-weight: normal;\"\u003e\u003cspan style=\"font-weight: normal;\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"font-weight: normal;\"\u003e\u003cspan style=\"font-weight: normal;\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"font-weight: normal;\"\u003eSEMI M1 、 SEMI M8 、 SEMI M11 、 SEMI M24 、 SEMI M38 に定義されているウェーハのパラメータは、シリコンウェーハ・サプライヤに関しては顧客によって指定され、通常適合性である。シリコンウェーハ・供給ヤおよび顧客は、これらのパラメータを、異なるメーカーの装置を使用するか、あるいは同じサプライヤでも異なる世代の装置を使用して測定することがある。基本的な特徴および能力に関する解決は、適切なシステムの調達と同様、データ交換およびデータ解釈を改善する。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont face=\"arial\" style=\"\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\" style=\"box-sizing: border-box;\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp style=\"margin: 0px; padding: 0px; box-sizing: border-box;\"\u003e \u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eSEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容の仕様 (SECS-II)\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003e SEMI E10 — 機器の信頼性、可用性、保守性（RAM）および使用率の定義と測定に関する仕様\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI E19 — 標準メカニカルインターフェイス (SMIF) の仕様\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM) の仕様\u003c\/font\u003e \u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービス\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI E47 — 150 mm\/200 mm ポッド ハンドルの仕様\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用される FOUPS の機械仕様\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI E58 — 自動信頼性、可用性、保守性標準 (ARAMS): 概念、動作、およびサービス\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI E89 — 測定システム分析 (MSA) のガイド\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI E158 — 450 mm ウェーハ (450 FOUP) の輸送および保管に使用されるファブ ウェーハ キャリアおよびキネマティック カップリングの機械仕様\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI E159 — 450 mm ウェーハの輸送および出荷に使用されるマルチ アプリケーション キャリア (MAC) の機械仕様\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI M1 — 研磨単結晶シリコンウェーハの仕様\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI M8 — 研磨単結晶シリコンテストウェーハの仕様\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI M12 — ウェーハ前面のシリアル英数字マーキングの仕様\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI M13 — シリコンウェーハの英数字マーキングの仕様\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI M24 — 研磨単結晶シリコンプレミアムウェーハの仕様 \u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI M31 — 300 mm ウェーハの輸送および出荷に使用される前開き輸送ボックスの機械的特徴の仕様\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI M38 — 研磨再生シリコンウェーハの仕様\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI M43 — ウェーハナノトポグラフィーのレポートガイド\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI M59 — シリコンテクノロジーの用語\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI M62 — シリコンエピタキシャルウェーハの仕様\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI M67 — ESFQR、ESFQD、およびESBIRメトリクスを使用して、測定された厚さのデータ配列からウェーハのニアエッジ形状を決定するための実践\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI M68 — 曲率メトリクス、ZDD を使用して、測定された高さのデータ配列からウェーハのニアエッジ形状を決定するための実践\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI M73 — 測定されたウェーハエッジプロファイルから関連特性を抽出するための試験方法\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI M80 — 450 mm ウェーハの輸送および出荷に使用される前開き輸送ボックスの仕様\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI MF42 — 外部半導体材料の導電型の試験方法\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI MF84 — インライン 4 点プローブを使用してシリコンウェーハの抵抗率を測定するテスト方法 \u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI MF534 — シリコンウェーハの反りの試験方法\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI MF657 — 非接触スキャンによるシリコンウェーハの反りおよび総厚さの変動を測定するための試験方法\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI MF671 — シリコンおよびその他の電子材料のウェーハの平坦長さを測定するための試験方法\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI MF673 — 非接触渦電流計を使用して半導体ウェハの抵抗率または半導体膜のシート抵抗を測定するための試験方法\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI MF928 — 円形半導体ウェーハおよびリジッドディスク基板のエッジ輪郭の試験方法\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI MF1152 — シリコンウェーハのノッチ寸法の試験方法\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI MF1390 — 自動非接触スキャンによるシリコンウェーハの反りおよび反りを測定する試験方法\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI MF1451 — 自動非接触スキャンによるシリコンウェーハのソリを測定する試験方法\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI MF1530 — 自動非接触スキャンによるシリコンウェーハの平坦度、厚さ、および厚さのばらつきを測定する試験方法 \u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI MF2074 — シリコンおよびその他の半導体ウェーハの直径を測定するためのガイド\u003cbr style=\"box-sizing: border-box;\"\u003eSEMI T7 — 二次元マトリックスコードシンボルを使用した両面研磨ウェーハの裏面マーキングの仕様\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M49-0918 - 現在","offer_id":40234365681731,"sku":"13510","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M49-0613 - 置き換えられました","offer_id":40234365714499,"sku":"9611","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M49-0912 - 置き換えられました","offer_id":40234365747267,"sku":"9614","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M49-0412 - 置き換えられました","offer_id":40234365780035,"sku":"9609","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M49-1011 - 置き換えられました","offer_id":40234365812803,"sku":"9616","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M49-0311 - 置き換えられました","offer_id":40234365845571,"sku":"9607","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M49-0307 - 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