{"product_id":"m04600-semi-m46-test-method-for-measuring-carrier-concentrations-in-epitaxial-layer-structures-by-ecv-profiling","title":"M04600 - SEMI M46 - ECV プロファイリングによるエピタキシャル層構造内のキャリア濃度を測定するための試験方法","description":"\u003cp align=\"justify\" dir=\"ltr\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\" dir=\"ltr\"\u003e 注意: この文書は編集上若干の変更を加えて再承認されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"left\" dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp align=\"justify\" dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003eこの文書の目的は、電気化学容量電圧 (ECV) プロファイリングによるエピタキシャル層のキャリア濃度およびキャリア濃度対深さプロファイルを測定する方法を規定することです。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\" dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\" dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003eこのテスト方法では、ECV プロファイリングによるエピタキシャル層のキャリア濃度の測定手順を説明します。この方法は、テスト条件とレポートの標準化、および測定の日常的な校正によって、測定の精度と再現性を向上させることに重点を置いています。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\" dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\" dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003eこの試験方法は、測定される日常的なサンプルの大部分をカバーすることを目的としています。ただし、遭遇するさまざまな資料の数が多いため、すべての不測の事態をカバーできるわけではありません。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"left\" dir=\"ltr\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp align=\"justify\" dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003eSEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M46-1101E (再承認 0915) - 非アクティブ","offer_id":40348665839683,"sku":"4858","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M46-1101E (再承認 0309) - 置き換えられました","offer_id":40234300244035,"sku":"9601","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M46-1101E - 置き換えられました","offer_id":40234300375107,"sku":"9600","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_dc13072b-832c-402b-a1f3-36aa355a6ac7.png?v=1776702614","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/m04600-semi-m46-test-method-for-measuring-carrier-concentrations-in-epitaxial-layer-structures-by-ecv-profiling","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}