{"product_id":"m04400-semi-m44-シリコン中の酸素の換算係数ガイド","title":"M04400 - SEMI M44 - シリコン中の酸素の比較係数ガイド","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e本基準は、global Silicon Wafer Committee \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003eで技術\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e的に承認されている。現版は2010年12 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e月21日、global Audits and Reviews Subcommittee \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003eにて\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e発行が承認された。 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003eおよび\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003ewww.semi.orgで入手可能\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003eとなる。初版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e2001年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e3 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e月発行、前版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e2005年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e3 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e月発行された。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c?xml:namespace prefix = o ns = \"urn:schemas-microsoft-com:office:office\" \/\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp class=\"Heading11\" style=\"MARGIN: 0in 0in 3pt; mso-list: none\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cp\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in; mso-list: none\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: Symbol; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA; mso-char-type: symbol; mso-symbol-font-family: Symbol\"\u003e\u003cspan style=\"mso-char-type: symbol; mso-symbol-font-family: Symbol\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e何年にもわたり、 1107 cm - 1 に於ける室温での赤外線吸収ピークから中のシリコン格子間酸素濃度を計算するのに広くの補正係数が世界各地域の標準化開発組織によって標準化されていてそのようなすべての標準は、その後シリコン中の酸素\u003cspan style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e濃度と吸収ピークとの相関をより正確に相関付けしているIOC \u003cspan lang=\"JA\" style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e-88補正係数\u003cspan style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e1,2 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003eを使用する推計が検討されている。それにもかかわらず、多くの古い補正係数が工業界において通用したまま残っている。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in; mso-list: none\"\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in; mso-list: none\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003eこのガイドは、シリコン中の格子間酸素測定として1970年以来多くの組織において制定された標準で使用されている比較係数および補正係数をまとめたものである。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfonthelv\u003e\u003cfonthelv\u003e \u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI M59 — シリコンテクノロジーの用語\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI MF1188 — 短いベースラインでの赤外線吸収によるシリコンの格子間原子状酸素含有量の試験方法\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/fonthelv\u003e\u003c\/fonthelv\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M44-0305 (再承認 0211) - 現在","offer_id":40234293035075,"sku":"4854","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M44-0305 - 置き換えられました","offer_id":40234293133379,"sku":"9594","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_8b78e81b-8913-4efa-b345-576c8d64675c.png?v=1776702617","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/m04400-semi-m44-%e3%82%b7%e3%83%aa%e3%82%b3%e3%83%b3%e4%b8%ad%e3%81%ae%e9%85%b8%e7%b4%a0%e3%81%ae%e6%8f%9b%e7%ae%97%e4%bf%82%e6%95%b0%e3%82%ac%e3%82%a4%e3%83%89","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}