{"product_id":"m03500-semi-m35-自動検査により検出されるシリコンウェーハ表面特性の仕様を開発するためのガイド","title":"M03500 - SEMI M35 - 自動検査により検出されるシリコンウェーハ表面特性の仕様を開発するためのガイド","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"TEXT-JUSTIFY: inter-ideograph; MARGIN: 0in 21pt 0pt; TEXT-ALIGN: justify\"\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"mso-spacerun: yes\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e本基準は、グローバル\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003eシリコン\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eウェーハ委員会で技術的に承認されている。現版は2007年9 \u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月5\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e日、グローバル監査審査小委員会\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003eにて\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e発行が承認された。 \u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003eで、そして2007年11月にCD-ROM \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eで入手可能となりました。 \u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e初版は1999年\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e2 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月発行、前版は\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e2005年\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e11 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月に発行されました。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0in 0in 0pt\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eシリコンウェーハ表面の検査は、すべての商業的に販売されているシリコンウェーハにおいて標準な出荷試験となっている。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in\"\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e古い仕様は，ウェーハ表面の目視検査を基準としているが，技術の進歩にもなって，多くの表面の検査対象欠陥サイズが目視検査で行うには小さすぎるようになってきている。目視検査に変わる）別のやり方の表面検査が必要になってきています。\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in\"\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"mso-spacerun: yes\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eこのガイドは、スキャニング（または自動の）表面検査システム（ SSIS ： Scanning Surface Inspection System ）を用いてシリコンウェーハの表面特性測定を記録するための仕様の限界を提供する。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI M1 — 研磨単結晶研磨シリコンウェーハの仕様\u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI M53 — パターンのない半導体ウェーハ表面への単分散ポリスチレン ラテックス球の堆積を使用した走査表面検査システムの校正の実践\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M35-1107 - 置き換えられました","offer_id":40234286972995,"sku":"4844","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_a2cf7f92-32a3-4256-ac86-fcd1fb5de5f1.png?v=1776702625","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/m03500-semi-m35-%e8%87%aa%e5%8b%95%e6%a4%9c%e6%9f%bb%e3%81%ab%e3%82%88%e3%82%8a%e6%a4%9c%e5%87%ba%e3%81%95%e3%82%8c%e3%82%8b%e3%82%b7%e3%83%aa%e3%82%b3%e3%83%b3%e3%82%a6%e3%82%a7%e3%83%bc%e3%83%8f%e8%a1%a8%e9%9d%a2%e7%89%b9%e6%80%a7%e3%81%ae%e4%bb%95%e6%a7%98%e3%82%92%e9%96%8b%e7%99%ba%e3%81%99%e3%82%8b%e3%81%9f%e3%82%81%e3%81%ae%e3%82%ac%e3%82%a4%e3%83%89","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}