SEMI M32 - 統計的仕様のガイド -

Abstract

本基準は、global Silicon Wafer Committee で技術的に承認されている。現版は2006年11月21日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 で、そして2007年3月にCD- ROMで入手可能となりました。 初版は1998年9 月発行、前版は2004 年7 月に発行されました。

本仕様は，ユーザ･供給ヤ間で合意された要求事項をベースにしている。本書には，パラメータ仕様の一部としてリスクレベルを定義する系統的な仕様様式を記載している。品質向上の成果に焦点を合わせ、サンプリングを減らし、低リスクを維持するために工程能力情報を置く。に向けた活動を推進すべきである。

採用された方法が相手等の期待を満足させるために品質レベルを認め、相互に合意することは、供給者およびその顧客重視である。 。

統計的な仕様は、工程での品質確保に向けた活動を促進するために作成されている。 それは、統計的に特性化されている工程に対して最も適切である。あるいは顧客と供給者をより満足させる製品を定量的な分布の形状を目指している。 またそれは、最新のニーズに合致することが必要なレベルに対して、工程の統計的管理および計測システムが決定されることを意味している。

SEMI M1 — 研磨単結晶シリコンウェーハの仕様
SEMI M18 — 注文入力用シリコンウェーハ仕様書フォーマット
SEMI M57 — シリコンアニールウェーハの仕様ガイド
SEMI M59 — シリコンテクノロジーの用語
SEMI M61 — 埋め込み層を備えたシリコンエピタキシャルウェーハの仕様
SEMI M62 — シリコンエピタキシャルウェーハの仕様

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