{"product_id":"m03100-semi-m31-300-mmウェーハの搬送および出荷用フロントオープニング-シッピングボックスの機械仕様","title":"M03100 - SEMI M31 - 300 mmウェーハの搬送および出荷用フロントオープニング・シッピングボックスの機械仕様","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。\u003c\/font\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e本基準は、Silicon Wafer Global Technical Committee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで技術\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e的に承認されている。現版は2008年5月3日、global Audits and Reviews Subcommittee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eにて発行が承認された\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e。 org\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで。初版は\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e1998年発行、前版は\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e2007年3\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月に発行された。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e本スタンダードは、ウェーハの品質を維持しながら、ウェーハサプライヤから顧客（主にIC製造者）へ300mm径ウェーハを伝えるのに使用される前開きシッピングボックス（前開き輸送箱：FOSB）\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eを規定する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eこの標準が意図しているのは、すべてのメカニカルインタフェースに関して、モジュール性と\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e互換\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e性を確保しながら、技術革新を考慮せず最小レベルの仕様を決定することである。 \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eが本基準に準拠して製造できるように、そしてそのFOSBがウェーハ輸送、ドアの開閉時においてウェーハ品質を維持するために使用可能なように、本基準は作成されている。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e本基準が想定しているのは、FOSBがウェーハ製造の段階最終でウェーハが詰められ、受け入れと検査を経て、IC工場内でFOSBからFOUP \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e、FOBITあるいはオープンカセットに詰め替えられるまでの工程に使う\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eあることであり、IC工場内のプロセス工程で使うことは想定されていない。ウェーハは自動化された装置によってFOSBからFOUP、FOBITあるいはオープンカセットに詰め替えられることが\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e前提。購入者側はFOSB\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eのドアを以下のいずれかであるという規定する必要がある。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003col\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e¶ 5.4.1\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e記載の手動操作用ドア\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e¶ 5.4.2 \u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e記載の自動開閉用ドア\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ol\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様\u003cbr\u003eSEMI E15 — ツールロードポートの仕様\u003cbr\u003eSEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様\u003cbr\u003eSEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるボックスおよびポッドの暫定機械仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cbr\u003eSEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせと支持に使用されるキネマティックカップリングの機械仕様\u003cbr\u003eSEMI E62 — 300 mm 前開きインターフェース機械規格 (FIMS) の暫定仕様\u003cbr\u003eSEMI E119 — 300mmウェーハの工場間輸送用の縮小ピッチフロントオープンボックスの暫定機械仕様\u003cbr\u003eSEMI M45 — 300mm ウェーハ出荷システムの暫定規格\u003cbr\u003eSEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M31-0708 - 置き換えられました","offer_id":40234358931523,"sku":"9554","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_98f2e3d9-f295-4ac0-852f-948a50bf2b00.png?v=1776702055","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/m03100-semi-m31-300-mm%e3%82%a6%e3%82%a7%e3%83%bc%e3%83%8f%e3%81%ae%e6%90%ac%e9%80%81%e3%81%8a%e3%82%88%e3%81%b3%e5%87%ba%e8%8d%b7%e7%94%a8%e3%83%95%e3%83%ad%e3%83%b3%e3%83%88%e3%82%aa%e3%83%bc%e3%83%97%e3%83%8b%e3%83%b3%e3%82%b0-%e3%82%b7%e3%83%83%e3%83%94%e3%83%b3%e3%82%b0%e3%83%9c%e3%83%83%e3%82%af%e3%82%b9%e3%81%ae%e6%a9%9f%e6%a2%b0%e4%bb%95%e6%a7%98","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}