{"product_id":"m02000-semi-m20-ウェーハ座標システムの確立の作業方法","title":"M02000 - SEMI M20 - ウェーハ規格システムの確立の作業方法","description":"\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e注意: この翻訳は参考コピーのみです。もしも\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e英語版と翻訳版の間にはいかなる違いも存在するはずです。\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eその他の言語の場合は、英語版が正式な正式版です。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e免責事項： この\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial'\u003eスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eエンドデバイス製造に現在用いられているプロセスシステムはプロセス前にウェーハを回転させ、xy配置をするためのアライメント機構を使用して\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eいる\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e。これは多くのアライナーを混用するファブにおいてウェーハ間直径バラツキの影響を最小限にするために、ステッピングアラアイナーに最も多く見られることである。システムが多くの特性評価システムに見られる。ウェーハの正規システムは、サイト、パターン、または任意配置のような他の正規システムがウェーハ表面の物理的位置を参照する方法を提供する。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eもしアレイの点がウェーハの前面上にある場合には，唯一xおよびy （または\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003er\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eおよび\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eq\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e）\u003c\/span\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e規格\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eが\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:Symbol;mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Symbol\"\u003e\u003cspan style=\"mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol\"\u003e正しい\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eである。の位置の認識しない位置決めをするためのウェーハ上の位置を解消し、を排除してしまうことが重要になってきています。欠陥や異常部の存在とデバイス歩留まりバラツキとのデフォルトのため，ウェーハ上に認められる欠陥や異常部の正確な位置を報告する必要がある。するために、そして歩留解析システムへの変換により、ダイ歩留まりマップに対応させることが出来る。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eこれらの要望に応えるため，本方法はウェーハ表面上の点を正確に位置決めし，報告することを促進させるためのウェーハ認定システムを定義している。には、\u003c\/span\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003ez\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e座標もまた使用されなければなりません。\u003c\/span\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003ez\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e軸上のゼロ点はアプリケーションに特有ですので、本方法は xyz (または\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003er-\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eq\u003c\/span\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e-z\u003c\/span\u003e \u003cspan style=\"font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:Symbol;mso-ascii-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial;mso-char-type:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;symbol;mso-symbol-font-family:Symbol\"\u003e\u003cspan style=\"mso-char-type:symbol;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-symbol-font-family:Symbol\"\u003e)\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eシステム\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eは表面座標システムから決めてください。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eこの方法は，ウェーハ上の何れの点も，ウェーハ中心を原点とし，デカルト公認（ xy ）または極（ r- q ）公認を用いて，唯一の点に位置するウェーハ基準システムを定義\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eする\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e手順\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eを\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:Symbol;mso-ascii-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial;mso-char-type:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;symbol;mso-symbol-font-family:Symbol\"\u003e\u003cspan style=\"mso-char-type:symbol;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-symbol-font-family:Symbol\"\u003e提供\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eするいる。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eパターンが描かれていないウェーハに対しては，このウェーハ規格システムは直接，または直角座標や極座標形式のオーバーレイアウトと一緒に使用することができる。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eこのウェーハ基準システムは，さらに，原点を置いたり，他の基準システムの基準点を定めたりすることに使用することができる。他の基準システムは，パターンが描かれたウェーハまたは描かれていないウェーハの前面または背面にサイト、ダイ、またはマップアレイの位置データを定義したり報告するのに用いられる。ウェーハ規格システムのアプリケーションの選ばれたモードが関連情報1に情報としてのみ記載されてい\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eます\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eこの方法は、またウェーハに対して三次元\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003exyz\u003c\/span\u003e \n\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e（または\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003er-\u003c\/span\u003e \u003cspan style=\"font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:Symbol;mso-ascii-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial;mso-char-type:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;symbol;mso-symbol-font-family:Symbol\"\u003e\u003cspan style=\"mso-char-type:symbol;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-symbol-font-family:Symbol\"\u003eq\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e-z\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e） 公認システムを定義する手順を提供している。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cb\u003e参照SEMI規格\u003c\/b\u003e（別途購入）\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E5 — SEMI機器通信の仕様\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e標準2メッセージ内容（SECS-II）\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M1 — 研磨単結晶シリコンの仕様\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eウエハース\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M12 — シリアル英数字マーキングの仕様\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eウェーハの表面\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M13 — の英数字マーキングの仕様\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eシリコンウェーハ\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M17 — ユニバーサルウェーハグリッドのガイド\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M59 — シリコンテクノロジーの用語\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cb\u003e改訂履歴\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif; font-size: 10pt;\"\u003eSEMI M20-1110 (技術改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M20-1104 (技術改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M20-0704 (技術改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M20-0998 (技術改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M20-92 (技術改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M20-91 (初公開)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M20-1110 - 置き換えられました","offer_id":40234356637763,"sku":"9524","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M20-1104 - 置き換えられました","offer_id":40234356736067,"sku":"9522","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_9d2de4e9-eb6b-43ed-b508-4598449f0f8f.png?v=1776702064","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/m02000-semi-m20-%e3%82%a6%e3%82%a7%e3%83%bc%e3%83%8f%e5%ba%a7%e6%a8%99%e3%82%b7%e3%82%b9%e3%83%86%e3%83%a0%e3%81%ae%e7%a2%ba%e7%ab%8b%e3%81%ae%e4%bd%9c%e6%a5%ad%e6%96%b9%e6%b3%95","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}