{"product_id":"m01700-semi-m17-一般的なウェーハグリッドのガイド","title":"M01700 - SEMI M17 - 一般的なウェーハグリッドのガイド","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e本基準は、global Silicon Wafer Committee \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003eで技術\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e的に承認されている。現版は2010年8 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e月27日、global Audits \u0026amp; Reviews Subcommittee \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003eにて\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e発行が承認された。 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003eで入手可能となる可能性があります。初版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e1990年発行、前版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e2004 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e7 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e月発行。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c!--?xml:namespace prefix = o ns = \"urn:schemas-microsoft-com:office:office\" \/--\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in; mso-list: none; tab-stops: 35.0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt; mso-fareast-language: ZH-CN\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e最大許容スリップとその他不均等に分布する欠陥は鏡面あるいはエピタキシャルシリコンウェーハの調達にあたり頻繁に定められる。 SEMI M62ではスリップを含むエピタキシャルシリコンウェーハ表面のわずかな領域についてその最大許容を定めている。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in; mso-list: none; tab-stops: 35.0pt\"\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in; mso-list: none; tab-stops: 35.0pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこのガイドは観測された欠陥で疑わしいウェーハ表面のほんの一部の決定を簡単にウェーハグリッドを使用するためのデザインおよびガイダンスを提供する。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI M1 — 研磨単結晶シリコンウェーハの仕様\u003cbr\u003eSEMI M59 — シリコンテクノロジーの用語\u003cbr\u003eSEMI M62 — シリコンエピタキシャルウェーハの仕様\u003cbr\u003eSEMI MF154 — シリコンの鏡面に見られる構造と汚染物質の特定に関するガイド\u003cbr\u003eSEMI MF1725 — シリコンインゴットの結晶学的完全性の分析の実践\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cbr\u003eSEMI MF1726 — シリコンウェーハの結晶学的完全性の分析の実践\u003cbr\u003eSEMI MF1809 — シリコンの構造欠陥を描写するためのエッチング溶液の選択と使用に関するガイド\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M17-1110 - 置き換えられました","offer_id":40234305650755,"sku":"4838","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M17-0704 - 置き換えられました","offer_id":40234305749059,"sku":"9509","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_f1edf9dc-743c-4b58-82e4-41a9add650e3.png?v=1776702629","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/m01700-semi-m17-%e4%b8%80%e8%88%ac%e7%9a%84%e3%81%aa%e3%82%a6%e3%82%a7%e3%83%bc%e3%83%8f%e3%82%b0%e3%83%aa%e3%83%83%e3%83%89%e3%81%ae%e3%82%ac%e3%82%a4%e3%83%89","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}