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SEMI M10 - ガリウムヒ素ウェーハに見られる構造及び特徴の確認のための標準名 -
Volume(s):
Materials
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本書の目的は、鏡面ガリウムヒ素ウェーハ上に見られる各種特性、特徴及び汚染について規定し、これらの欠陥を観察するために推奨される手段を提供する
これらの発生事件はしばしば表面欠陥と呼ばれる。 欠陥及び一般的な同義語が4章にランダム順に並べられている，それぞれの構造はその最も一般的な名前で呼ばれている。おそらくそれが生まれるであろう。
表面処理準備の2つのケースが本書では考えられている。 つまり(1) 化学研磨表面後、 (2) 機械的研磨及び化学的研磨を実施した表面。
本基準には有害物質、それに関する運用，及び装置についての記述が行われている。 本基準は有害物質の使用と関連する全ての安全性の問題を扱うものではない。相談し、確立し、使用前の法に基づく規制の適用可能性を決定することは本基準の使用者の責任である。
参照されるSEMI規格SEMI M9 — 円形研磨単結晶ガリウムヒ素スライスの仕様
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