{"product_id":"g09500-semi-g95-mechanical-interface-specification-for-450-mm-load-port-for-tape-frame-cassettes-in-the-backend-process","title":"G09500 - SEMI G95 - バックエンドプロセスにおけるテープフレームカセット用の 450 mm ロードポートの機械的特徴の仕様","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eこの規格は、機械的インターフェースを定義するものです。\u003c\/font\u003e\n\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e半導体製造装置のロードポート、450mmテープフレーム\u003c\/font\u003e\n\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eカセット(450TFC)の着脱が可能です。この定義により、\u003c\/font\u003e\n\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eロードポートとキャリアの相互運用性を促進することを目的としています。\u003c\/font\u003e\n \u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e450 TFC を使用した自動化。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eこの規格のインターフェース仕様は、\u003c\/font\u003e\n \u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e450 mm テープ フレーム カセットに準拠したキャリアと嵌合することを目的としています。\u003c\/font\u003e\n \u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e(450 TFC) であり、450 TFC に適用されます。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eこの規格は機械的な仕様のみを規定することを目的としています。\u003c\/font\u003e\n \u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e450 TFC とロード ポート間のインターフェイス。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e450 TFC のロードとアンロードは、次のように行われると想定されています。\u003c\/font\u003e\n\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e半自動 (PGV) または自動 (AGV または OHT) ハンドリング。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照SEMI規格\u003c\/b\u003e（別途購入）\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eSEMI G88 — 450 mm ウェーハ用テープフレームの仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e改訂履歴\u003c\/b\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eSEMI G95-1120 (タイトル変更)\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eSEMI G95-0314 (技術改訂)\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eSEMI G95-0613 (初公開)\u003c\/font\u003e\u003cspan style=\"font-family: arial; font-size: small;\"\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cbr\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI G95-1120 - 現在","offer_id":40234292215875,"sku":"14318","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI G95-0314 - 置き換えられました","offer_id":40234292346947,"sku":"4270","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI G95-0613 - 置き換えられました","offer_id":40234292445251,"sku":"12329","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/GVolume_13f5fb74-0e37-4584-bab8-9355976f6e79.png?v=1776702677","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/g09500-semi-g95-mechanical-interface-specification-for-450-mm-load-port-for-tape-frame-cassettes-in-the-backend-process","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}