SEMI G94 - 300mmウェーハ用コインスタック型テープフレーム 出荷容器の仕様 -

Abstract

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本基準は、Assembly & Packaging Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012年12月20日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2013年1月にwww.semiviews .orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。

本書の目的は，ウェーハのテストや搬送プロセスで使用される300mmウェーハ用のコインスタック型テープフレーム出荷容器の仕様を標準化することである。

本仕様は、出荷容器の外形寸法（§5.1.1参照）のほか、移載機やプロセス装置と出荷容器の間のインターフェースを確保するための要求事項を規定する。

本仕様は，ウェーハ保護のためのクッション材やウェーハの分離のために使用される層間資材についての要求事項を規定する。

本仕様は、出荷容器の材料の電気特性及び危険物質の要件に関して規定する。

金属(SEMI G74)テープフレーム付きウェーハ・樹脂(SEMI G87)テープフレーム付きウェーハとも出荷容器への収納枚数は、最大13枚としなければなりません。

SEMI G59 —リードフレームインターリーフィング上のイオン汚染およびインターリーフィングからリードフレームに移動した汚染の測定のための試験方法
SEMI G74 — 300 mm ウェーハ用テープフレームの仕様
SEMI G87 — 300 mm ウェーハ用プラスチックテープフレームの仕様

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