SEMI G92 - 450mmウェーハ用テープフレームカセットの仕様 -

Abstract

本基準は、Assembly & Packaging Global Technical Committee で技術的に承認されています。現版は2013年8月22日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認されました。 .orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。前版は2012年4月発行。

本スタンダードの目的は、ウェーハハマウンティングプロセスとダイボンディングプロセスの間で使用する450mmウェーハ用テープフレームカセットのメカニカルな形状を標準化することである。

この標準が意図しているのは、すべてのメカニカルインターフェースに関して、モジュール性と互換性を確保しながら、技術革新を考慮せず最小レベルの仕様を定めることである。

テープフレームカセットのメカニカルインターフェースのみが規定されている。つまり、材料の種類や衛生性については定義しない。

本スタンダードは半自動（ PGV ）と自動搬送（ AGV や OHT ）両方に対応する450mmウェーハ用フレームカセットを規定する。手動搬送は想定していない。

450mmウェーハ用テープフレームカセットは、以下のコンポーネントとオプションコンポーネントを有します。オプションコンポーネントは、450mmテープフレームカセット(TFC)に必要な機能ではなく、顧客の要求や上製造の問題がある場合に追加される。

上面

• トップカバー（オプション）

• オートメーションフランジ（オプション）

内側

• テープフレーム13枚分または25枚分の猶予

• テープフレーム攻撃防止機構

側面

• フォークリフト対応

背面

• 背面カバー（オプション）

• ラベル貼付領域（オプション）

底面

• 3つのキネマティックカップリングピンと結合する構造

• 6つのテープフレームカセット検出用パッド

• テープフレーム攻撃防止機構解除用バー（オプション）

SEMI G88 — 450 mm ウェーハ用テープフレームの仕様

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