{"product_id":"g08200-semi-g82-specification-for-300-mm-load-port-for-frame-cassettes-in-backend-process","title":"G08200 - SEMI G82 - バックエンドプロセスにおけるフレームカセット用の 300 mm ロードポートの仕様","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eこの仕様は、製品の寸法要件を定義します。\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eバックエンドプロセス装置の 300 mm ウェーハ用フレームカセットのロードポート。それ\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e機器との間の均一な物理インターフェイスを促進することを目的としています。\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e工場での自動フレームカセット搬送システムの使用を容易にするため、\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eおよび\/または手動で装填される機器の人間工学的要件を満たすため。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e300mmフレーム用の標準カバー装置です。\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eカセットのみ。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E15 — ツールロードポートの仕様\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E64 — SEMI E15.1 に準拠した 300 mm カートの仕様\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eドッキングインターフェースポート\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI G77 — 300 mm 用フレームカセットの仕様\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eウエハース\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cb\u003e改訂履歴\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"margin-top:5.0pt;margin-right:0in;margin-bottom:5.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;margin-left:0in;line-height:normal;mso-layout-grid-align:none;text-autospace:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;none\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI G82-1115 (再承認 1220)\u003c\/span\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"margin-top:5.0pt;margin-right:0in;margin-bottom:5.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;margin-left:0in;line-height:normal;mso-layout-grid-align:none;text-autospace:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;none\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI G82-1115 (技術改訂)\u003c\/span\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"margin-top:5.0pt;margin-right:0in;margin-bottom:5.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;margin-left:0in;line-height:normal;mso-layout-grid-align:none;text-autospace:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;none\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI G82-0301E (再承認 0706)\u003c\/span\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"margin-top:5.0pt;margin-right:0in;margin-bottom:5.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;margin-left:0in;line-height:normal;mso-layout-grid-align:none;text-autospace:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;none\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI G82-0301E (編集改訂版)\u003c\/span\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"margin-top:5.0pt;margin-right:0in;margin-bottom:5.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;margin-left:0in;line-height:normal;mso-layout-grid-align:none;text-autospace:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;none\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI G82-0301 (初公開)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI G82-1115 (再承認 1220) - 現在","offer_id":40234291920963,"sku":"14345","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI G82-1115 - 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