{"product_id":"f11500-semi-f115-test-method-for-the-determination-of-metallic-elements-present-on-wetted-surfaces-of-ultra-high-purity-chemical-delivery-systems-and-components","title":"F11500 - SEMI F115 - 超高純度化学物質供給システムおよびコンポーネントの接液面に存在する金属元素を測定するための試験方法","description":"\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの文書は、超高純度 (UHP) 化学物質送達システムおよびコンポーネントの接液面に存在する金属元素を測定するための試験方法を定義します。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH1\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの試験方法は、UHP 化学物質送達システムおよびコンポーネントに適用できます。テストサンプルの例には、バルブ、レギュレーター、フィルター、マスフローコントローラー、チューブ、溶接継手、および面シール継手が含まれます。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの試験方法は、アセンブリまたは製造エリアからの汚染を判定するためにも使用できます。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの文書では、超純水 (UPW) で濡れた表面に存在する抽出可能な金属元素を抽出および測定する方法について詳しく説明します。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこのテスト方法は、さまざまなフラッシングまたはパージプロセスの有効性を評価するために使用できます。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cb\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-size: small; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E49.2 — 半導体装置の液体化学システムに使用されるポリマーアセンブリの認定に関するガイド\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E49.8 — 半導体製造装置における高純度および超高純度ガス供給システムのガイド\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI F20 — 汎用、高純度および超高純度の半導体製造用途に使用されるコンポーネント用の 316L ステンレス鋼の棒、鍛造品、押出形材、プレート、およびチューブの仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI F63 — 半導体プロセスで使用される超純水のガイド\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style=\"line-height: 14.2667px; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI F115-0220 - 現在","offer_id":40234374201411,"sku":"13770","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/FVolume_aca58d1d-ae73-41df-9886-9987bfcf627f.png?v=1776701777","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/f11500-semi-f115-test-method-for-the-determination-of-metallic-elements-present-on-wetted-surfaces-of-ultra-high-purity-chemical-delivery-systems-and-components","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}