{"product_id":"f11100-semi-f111-test-method-for-equipment-fan-filter-unit-effu-particle-removal","title":"F11100 - SEMI F111 - 機器ファンフィルターユニット (EFFU) 粒子除去の試験方法","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eこの試験方法は、機器内に設置された機器ファンフィルターユニット (EFFU) の粒子除去特性を測定する手順を対象としています。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eEFFU は粒子フィルター、ファン、モーターのアセンブリであるため、これらの部品の完全性は EFFU のパフォーマンスにとって非常に重要です。したがって、粒子フィルターの従来の粒子除去試験方法は、EFFU の粒子除去性能を評価するのには適していません。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eこの試験方法は、プロセス装置内で発生するパーティクルを除去するために密閉空間内に設置されるEFFUの評価方法を定めたものです。 EFFU の粒子除去性能は通常、フィルター媒体の性能と空気流量に依存します。 EFFU の性能を理解するには、フィルター媒体の特性、空気流量、EFFU 部品の完全性を同時に考慮する必要があります。このテスト方法は、EFFU のシステム パフォーマンスを実証することを目的としています。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eSEMI F38 — ポイントオブユースガスフィルターの効率認定のための試験方法\u003c\/font\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI F111-0413 - 現在","offer_id":40234260299843,"sku":"4041","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/FVolume_98c93a4c-6541-45f5-85e6-528b2c5e8557.png?v=1776702756","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/f11100-semi-f111-test-method-for-equipment-fan-filter-unit-effu-particle-removal","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}