{"product_id":"f10400-semi-f104-particle-test-method-guide-for-evaluation-of-components-used-in-ultrapure-water-and-liquid-chemical-distribution-systems","title":"F10400 - SEMI F104 - 超純水および液体化学薬品供給システムで使用されるコンポーネントの粒子寄与率を評価するための試験方法","description":"\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの文書は仕様とテストを提供します\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eコンポーネントへの粒子の寄与を評価および比較する方法\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e超純水 (UPW) 流体ストリーム。粒子の寄与を評価する 2 つの方法\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e提供されています。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH3\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH3\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eすすぎ試験方法は、次のような性能を評価します。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eコンポーネントが静的状態 (アクティブに移動していない状態) の間のフラッシュ モード\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eテスト対象のコンポーネント内のコンポーネント)。の指標を提供します。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e粒子レベルを仕様に合わせるために必要なフラッシュ量。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH3\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH3\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e動的テスト方法は、実行中のパフォーマンスを評価します。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eコンポーネントの動作を確認し、定常状態の粒子を示します。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e動的な動作条件による寄与。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH1\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこれらの試験方法は液体化学薬品および UPW に適用されます。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e半導体製造ツールでの使用を目的としたシステムコンポーネント\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e補助装置。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの文書では測定方法について説明します。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eUPW をテスト媒体として使用する際のコンポーネントからの粒子寄与。 UPW、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e \nこの文書の意図と目的では、最低限のものとして定義されます。\nこの文書の ¶ 7.4 に概説されている要件。\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこれらの方法では、その場で液体光学粒子を使用します。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eパフォーマンスを定量化するための測定 (OPM) 機器。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cb\u003e参照SEMI規格\u003c\/b\u003e（別途購入）\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E49 — 高純度および超高純度のガイド\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e配管性能、サブアセンブリ、最終アセンブリ\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI F57 — に使用されるポリマーコンポーネントの仕様\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e超純水および薬液供給システム\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cb\u003e改訂履歴\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI F104-0520 (技術改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI F104-0312 (技術改訂)\u003c\/span\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI F104-1107 (初公開)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI F104-0520 - 現在","offer_id":40234260365379,"sku":"13851","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI F104-0312 - 置き換えられました","offer_id":40234260398147,"sku":"4034","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI F104-1107 - 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