{"product_id":"f10400-semi-f104-超純水および液体化学薬品分配システムに使用されるコンポーネント評価のためのパーティクル試験方法ガイドライン","title":"F10400 - SEMI F104 - 超純水および液体化学薬品配分システムに使用されるコンポーネント評価のための粒子クル試験方法ガイドライン","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e注意: この翻訳は参考コピーのみです。もしも\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e英語版と翻訳版の間にはいかなる違いも存在するはずです。\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eその他の言語の場合は、英語版が正式な正式版です。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e免責事項： この\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial'\u003eスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e本書では、超純水（\u003c\/span\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eUPW\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e）流中のパーティクルに焦点を当てるコンポーネントを評価し比較するための推奨試験方法を示します\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e。\u003c\/span\u003e \nF57 \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eの粒子クル試験要求を満たす。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e粒子クルの最適度を評価する\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e2\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eつの方法を提案する。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eすすぎ試験法では，コンポーネントの静的状態におけるフラッシングモード時の性能を評価する。これは，パーティクルレベルがユーザ定義の仕様にまで到達するのに必要な成分を示す。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eサイクル試験法では，コンポーネントの繰り返しの性能を評価し，定常状態での繰り返しよる粒子クルの圧力度を示す。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eこれらの試験方法は、半導体製造装置よび補助装置に使用するための薬液とUPWシステムコンポーネントに適用さ\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eれる\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e本書では、\u003c\/span\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eUPW\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eを試験媒体として使用しコンポーネントの粒子クル問題度を測定する方法を説明する。本書において、UPWの定義は本書の¶ 7.4で概説された最低要件を満たしているものと\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eし\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eて\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eいる\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eこれらの方法は、現場用液体光学式粒子クル測定装置（\u003c\/span\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eOPM\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e）を使って性能を定量する。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cb\u003e参照SEMI規格\u003c\/b\u003e（別途購入）\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E49 — 高純度および超高純度のガイド\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e配管性能、サブアセンブリ、最終アセンブリ\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI F57 — に使用されるポリマーコンポーネントの仕様\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e超純水および薬液供給システム\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI F104-0312 - 置き換えられました","offer_id":40234249748547,"sku":"4039","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/FVolume_0c7356a9-2ba7-48b2-afdf-df109aac1060.png?v=1776702758","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/f10400-semi-f104-%e8%b6%85%e7%b4%94%e6%b0%b4%e3%81%8a%e3%82%88%e3%81%b3%e6%b6%b2%e4%bd%93%e5%8c%96%e5%ad%a6%e8%96%ac%e5%93%81%e5%88%86%e9%85%8d%e3%82%b7%e3%82%b9%e3%83%86%e3%83%a0%e3%81%ab%e4%bd%bf%e7%94%a8%e3%81%95%e3%82%8c%e3%82%8b%e3%82%b3%e3%83%b3%e3%83%9d%e3%83%bc%e3%83%8d%e3%83%b3%e3%83%88%e8%a9%95%e4%be%a1%e3%81%ae%e3%81%9f%e3%82%81%e3%81%ae%e3%83%91%e3%83%bc%e3%83%86%e3%82%a3%e3%82%af%e3%83%ab%e8%a9%a6%e9%a8%93%e6%96%b9%e6%b3%95%e3%82%ac%e3%82%a4%e3%83%89%e3%83%a9%e3%82%a4%e3%83%b3","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}