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SEMI F101 - ガス分配システムの圧力レギュレータの性能を決めるための試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 およびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2005年11月発行。
注意: この文書は、編集上の修正を行い、再承認されました。
この文書の目的は、ガスシステムに設置される圧力レギュレータの試験方法を定義することである。 この試験方法を適用することによって、性能判断を目的として試験されるレギュレータ間のデータが比較可能になることが期待される。
本書では、レギュレータの性能特性を数値化するための試験方法を規定する。
参照されるSEMI規格SEMI F1 — 高純度ガス配管システムおよびコンポーネントのリーク完全性に関する仕様
SEMI F32 — 高純度遮断バルブの流量係数を決定するための試験方法
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