SEMI F95 - 1.5インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネントの寸法のための仕様 -

Abstract

本基準は、global Gases Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2012年8月30日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 およびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2004年3月発行。前版は2012年3月発行。

本スタンダードは、 1.5インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネントの特性（仕様）と機械的な寸法を規定する。

本スタンダードは、コンポーネントの共通する要求事項、レイアウト、サイズ、詳細な仕様、寸法を含みます。

本スタンダードは、3ポート4ファスナーコンポーネントに適用される。 コンポーネント（バルブ、圧力調整器、圧力変換器、フィルター、クリーナーなど）は、上部からアクセス可能なファスナー（ボルト等）を使用し、基板（ベース）に実装される。

本基準は、308 kPa (44.7 psia) において50 slm以下（窒素濃度）の流量調整をするシステムの要素に適用される。また、本基準は、 20 °Cにおいて3445 kPa (500 psia)以下の使用圧力の成分に適用される。

SEMI E49.8 — 半導体製造装置における高純度および超高純度ガス供給システムのガイド
SEMI F20 — 汎用、高純度および超高純度の半導体製造用途に使用されるコンポーネント用の 316L ステンレス鋼の棒、鍛造品、押出形材、プレート、およびチューブの仕様

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