{"product_id":"f07600-semi-f76-test-method-for-evaluation-of-particle-contribution-from-gas-system-components-exposed-to-corrosive-gas","title":"F07600 - SEMI F76 - 腐食性ガスに曝露されたガスシステムコンポーネントからの粒子の寄与を評価するための試験方法","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2018 年 8 月 18 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2018 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2003 年 3 月に出版されました。以前は 2010 年 11 月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e注意: この文書は編集上若干の変更を加えて再承認されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこれは、腐食性ガスサービスにおける潜在的な粒子発生に関してガスハンドリングコンポーネントを比較するための試験方法です。これは、選択プロセスで比較されるコンポーネントのグループのパフォーマンス データを生成する実用的な手段として意図されています。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの試験方法は、バルブ、粒子フィルター、および低圧レギュレーターに適用されます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e \u003cp\u003eSEMI C59 — 窒素の仕様\u003cbr\u003eSEMI E66 — マスフローコントローラーによる粒子の寄与を決定するための試験方法\u003cbr\u003eSEMI F43 — ポイントオブユースガス精製器およびガスフィルターによる粒子の寄与を測定するための試験方法\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI F76-0303 (再承認 0318) - 現在","offer_id":40234292969539,"sku":"4087","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI F76-0303 (再承認 1110) - 置き換えられました","offer_id":40234293067843,"sku":"10863","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI F76-0303 - 置き換えられました","offer_id":40234293166147,"sku":"10826","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/FVolume_441307e3-a789-4316-9f8a-1d9750cadaf2.png?v=1776702715","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/f07600-semi-f76-test-method-for-evaluation-of-particle-contribution-from-gas-system-components-exposed-to-corrosive-gas","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}