{"product_id":"f07000-semi-f70-test-method-for-determination-of-particle-contribution-of-gas-delivery-system","title":"F07000 - SEMI F70 - ガス供給システムの粒子寄与率を測定するための試験方法","description":"\u003cp class=\"StdsText0\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e注意: SEMI F70の指定は0320の間に更新されました。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI F70.1の作成を反映する発行サイクル。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの文書の目的は、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e粒子の寄与を測定するための標準化された方法論と手順\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e追加される粒子の数に関するガス供給システムのパフォーマンス\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eシステム内を流れるガス。この標準化された手順の目的は、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e \nガス供給システムのサプライヤー、機器のサプライヤー、および\n利用者。\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの試験方法は表面実装および\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e半導体製造装置で使用される従来のガス供給システム。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e下位基準:\u003c\/b\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI F70.1-0320\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e \u003cspan style=\"font-size: 10pt;\"\u003e—\u003cfont face=\"arial\"\u003eの試験方法\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style=\"font-size: 10pt;\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003eガス供給システムとその粒子寄与率の決定\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style=\"font-size: 10pt;\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003eパルス試験によるコンポーネント\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsDesignationTitle\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cb\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/font\u003e\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI C57 — アルゴンの仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI C59 — 窒素の仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cbr\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI F70-0320 - 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