{"product_id":"f06800-semi-f68-test-method-for-determining-purifier-efficiency","title":"F06800 - SEMI F68 - 浄化装置の効率を決定するための試験方法","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2013 年 6 月 4 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2013 年 7 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版発行は 2001 年 11 月。以前は 2008 年 11 月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書の目的は、マトリックスガスから活性ガス状不純物を除去する浄化装置の効率を定量化する試験方法を定義することです。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e特定の不純物種を除去するためのガス精製器の効率を決定します。効率テストは、純粋なマトリックスガスに ppm レベルのガス状不純物を添加し、活性不純物種についてテスト精製装置の流出液を監視することによって実行されます。テストは、サプライヤーが推奨する流量、動作温度、圧力で行われます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e瞬間的な浄化効率を決定する方法を確立する。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの試験方法は、使用時点 (POU) および大規模な精製装置に適用されます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの方法は、低レベルの汚染物質を UHP で効率的に除去するためのものです。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI E29 — マスフローメータおよびマスフローコントローラで使用される標準化された圧力、温度、密度、および流量単位のガイド\u003cbr\u003eSEMI F6 — 有害ガス配管システムの二次封じ込めに関するガイド\u003cbr\u003eSEMI F22 — ガス供給システムのガイド \u003cbr\u003eSEMI F33 — 大気圧イオン化質量分析計 (APIMS) の校正のための試験方法\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI F68-1101 (再承認 0713) - 現在","offer_id":40234249846851,"sku":"4048","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI F68-1101 (再承認 1108) - 置き換えられました","offer_id":40234249912387,"sku":"10818","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI F68-1101 - 置き換えられました","offer_id":40234249977923,"sku":"10817","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/FVolume_4472c7dd-2c7e-4d44-ad56-31785bfcebda.png?v=1776702751","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/f06800-semi-f68-test-method-for-determining-purifier-efficiency","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}