{"product_id":"f06300-semi-f63-guide-for-ultrapure-water-used-in-semiconductor-processing","title":"F06300 - SEMI F63 - 半導体プロセスで使用される超純水のガイド","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eこのガイドは次の場合に使用できます。\u003c\/span\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoListParagraphCxSpFirst\" style=\"text-indent:-.25in;mso-list:l0 level1 lfo1\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-fareast-font-family:Arial'\u003e\u003cspan style=\"mso-list:Ignore\"\u003e\u003cspan style='font:7.0pt \"Times New Roman\"'\u003e        \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e \u003c!--[endif]--\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eパフォーマンス基準を確立するには\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e超純水（UPW）精製装置を購入します。\u003c\/span\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-fareast-font-family:Arial'\u003e\u003cspan style=\"mso-list:Ignore\"\u003e\u003cspan style='font:7.0pt \"Times New Roman\"'\u003e        \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c!--[endif]--\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eプロセス制御パラメータを設定するには\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eUPWシステムの動作。\u003c\/span\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-fareast-font-family:Arial'\u003e\u003cspan style=\"mso-list:Ignore\"\u003e\u003cspan style='font:7.0pt \"Times New Roman\"'\u003e        \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c!--[endif]--\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eに対する品質期待を確立するには、\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eUPW を供給します。\u003c\/span\u003e \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003c!--[if !supportLists]--\u003e\n\n\n\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eこれらの推奨ガイドラインは技術情報として公開されています。\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e情報であり、情報提供のみを目的としています。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eUPWは半導体の製造に広く使用されています\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eすべての湿式処理ステップ (ウェーハのリンスを含む) 用の装置。 UPW純度は\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eしたがって、半導体の製造にとって重要です。このガイドが提供するのは、\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eUPW の品質パラメーターと意思決定のための背景情報\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e半導体を製造する新規または改修施設に関連するプロセス\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e線幅は 32 nm 以下です。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eUPW スコープには、定義時にホット UPW (HUPW) も含まれます。\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eUPW の品質基準。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eデバイスの国際ロードマップのメンバーの目標\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eおよびシステム (IRDS) UPW 委員会は、継続的に数年先を見据えて、\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e半導体業界の将来の UPW 技術要件を評価します。の\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eIRDS の意見に加えて、液体化学品グローバル技術委員会\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eの実現可能性とコスト実現可能性に関する知識に貢献しました。\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eこの文書で指定されている UPW 品質値をサポートするために必要な技術ソリューション\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eガイド。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eこのガイドの情報は、\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e以下の情報源:\u003c\/span\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoListParagraphCxSpFirst\" style=\"text-indent:-.25in;mso-list:l0 level1 lfo1\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-fareast-font-family:Arial'\u003e\u003cspan style=\"mso-list:Ignore\"\u003e\u003cspan style='font:7.0pt \"Times New Roman\"'\u003e    \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e施設からの情報を活用した IRDS リスク評価 -\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e半導体の製造専門家と技術プロバイダー\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e製造業。\u003c\/span\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-fareast-font-family:Arial'\u003e\u003cspan style=\"mso-list:Ignore\"\u003e\u003cspan style='font:7.0pt \"Times New Roman\"'\u003e       \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e半導体におけるUPW試験の結果\u003c\/span\u003e \n高いテストを行う独立した研究所によって測定された製造現場\n半導体産業用の純水。 \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003c!--[if !supportLists]--\u003e\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoListParagraphCxSpLast\" style=\"text-indent:-.25in;mso-list:l0 level1 lfo1\"\u003e\u003c!--[if !supportLists]--\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-fareast-font-family:Arial'\u003e\u003cspan style=\"mso-list:Ignore\"\u003e-\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003c!--[endif]--\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e水道設備の仕様\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eメーカー。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI Standards Liquid における UPW の生産者とユーザーからの意見\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e化学グローバル技術委員会の会議および投票を通じて\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eプロセス。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cb\u003e参照SEMI規格\u003c\/b\u003e（別途購入）\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI C10 — 検出方法の決定に関するガイド\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e限界\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI C79 — サブ15nmの有効性を評価するためのガイド\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e超純水 (UPW) 供給システムで使用されるフィルター\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI C93 — イオンの品質を決定するためのガイド\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eポーランドの超純水システム用途で使用される交換樹脂\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI F61 — の設計と運用のためのガイド\u003c\/span\u003e \n半導体超純水装置\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI F75 — 超純水の品質監視ガイド\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e半導体製造で使用される\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cb\u003e改訂履歴\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI F63-0521 (技術改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI F63-0918 (技術改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI F63-1016 (技術改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI F63-0213 (技術改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI F63-0211 (技術改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI F63-0309 (技術改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI F63-0701 (初公開)\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI F63-1224 - Current","offer_id":43106895298627,"sku":"18169","price":62700.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI F63-0521 - Superseded","offer_id":43106895331395,"sku":"14532","price":62700.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI F63-0918 - 置き換えられました","offer_id":40234301751363,"sku":"4099","price":62700.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI F63-1016 - 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