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SEMI F60 - 不動態化した316Lステンレス・スチール部品の接合ガス表面の組成をESCAにより評価する試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2011年5月13日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 www.semi.orgで入手可能となる。初版は2001年3月発行。前版は2006年3月発行。
注意: この文書は、編集上の修正を考慮して再承認されました。
本書の目的は、高純度ガス分配システムへの組み込まれているを無意識においた不動態化316Lステンレス・スチール部品の試験方法を規定することである。れる部品間で比較可能な結果を生むことが期待される。
本書は不動状態化の効果の指標として、ステンレス・スチールチューブ、継手、バルブ他の部品の内面を試験して、その表面組成および化学の性質を測定する方法を規定する。
本方法の目的は，計器のパラメータおよび条件の一般的な組み合わせを説明し，クロムを含有する酸化層内の，重要な表面化学性に対する正確で再現性のある測定を達成することである。
参照されるSEMI規格SEMI F19 — ステンレス鋼部品の接液面の表面状態に関する仕様
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