{"product_id":"f05800-semi-f58-大気圧イオン化質量分析計apimsによる表面実装および一般的ガス供給システムの水分ドライダウン特性測定のためのテスト方法","title":"F05800 - SEMI F58 - 大気圧イオン化質量分析計（APIMS）による表面実装および一般的なガス供給システムの水分ドライダウン特性測定のための試験方法","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"ZH-TW\"\u003e\u003cfont lang=\"ZH-TW\"\u003e免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e \u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"ZH-TW\"\u003e\u003cfont lang=\"ZH-TW\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e本基準は、global Gases Committee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで技術\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e的に承認されている。現版は2008年5月13日、global Audits and Reviews Subcommittee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eにて発行が承認された。 \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e2008年6\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月にwww.semi.org\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本書は、表面実装および一般的なガス分配システム（集積化ガス分配システム）の水分ドライダウン特性（水分除去量）を決定するための手順を説明する。 \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003eAPIMS\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003eは、最速応答時間で\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003eppt\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003eレベルの水分分析本試験方法は、現在市販\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003eされていないかもしれないAPIMS\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003eと同様の検出限界および反応時間をもつ他の技術である。適用する際のガイドラインとしても使用できます。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eこのテストの結果は，設計に基づくガス供給システムの定性的等級付けに置くことができる。また，十分に精通している使用者であれば，ガス配分システム挙動の数値シミュレーションの入力値として使用することもできる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e \u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Gothic,‚l‚r ƒSƒVƒbƒN\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Gothic,‚l‚r ƒSƒVƒbƒN\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eこのテスト方法は，半導体プロセスに使用されるすべてのタイプの表面実装および一般的なガス分配システムに適用することができる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003ci\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e試験媒体\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e－\u003ci\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e試験手順は窒素中で実施する。 その他の「不活性」ガスは、異なるパージング特性を持っており、より速くまたはよりゆっくりと乾燥することがある。この試験手順は腐食性の研究には有効かもしれないが、耐腐蝕性に関する検討は本書の範囲外である。別のガスでの応用を意図したシステムに対しては、万一注意して適用することができる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003ci\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e稼動状態\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e－\u003ci\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eガス供給システムからの水分発生は，その製造中に発生する汚染，その後の周囲空気または非乾燥ガスへの原因が原因となりうる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e「初期ドライダウン」状態は，（受け入れ状態での）システム内の部品の水分含有量によって決定される。これには，製造工程および設計，表面品質，前処理および梱包が絡み合って影響する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e「アップセット反応」状態は、システムが吸収し、それから受け入れ後の暴露中に放出する水量で決定される。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfonthelv\u003e\u003cfonthelv\u003e\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI C15 — ppm および ppb 湿度標準の試験方法\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI F27 — 大気圧イオン化質量分析法 (APIMS) によるガス分配システムおよびコンポーネントの水分相互作用および含有量の試験方法\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI F33 — 大気圧イオン化質量分析計 (APIMS) の校正方法\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/fonthelv\u003e\u003c\/fonthelv\u003e\u003c\/p\u003e ","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI F58-0708 - 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