{"product_id":"f05700-semi-f57-超純水および薬液供給システム内に使用するポリマー製材料および部品の仕様","title":"F05700 - SEMI F57 - 超純水および薬液供給システム内に使用するポリマー製材料および部品の仕様","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eSEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e \u003c\/p\u003e \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e本基準は、Liquid Chemicals Global Technical Committee \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eで技術\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e的に承認されている。現版は2013年12\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e月23日、global Audits and Reviews Subcommittee \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eにて発行が承認された\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e。 org \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eおよび\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003ewww.semi.org \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eで入手可能となる。初版は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e2000年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e10 \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e月発行。前版は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2012 \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e3 \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e月発行。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e本書は、超純水（ UPW ）配分システムでのUPWの運搬に適した超高純度（ UHP ）ポリマー材料およびポリマー製部品に対する最低限の性能要求条件を規定する。 \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eUPW \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eシステムに関する詳細な情報については， \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSEMI F61 \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eを参照すること。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eまた，本書はUHP薬液供給システム（ LCDS ）に使用されるポリマー材料およびポリマー製部品の使用についての推奨を行っている。本書に記載されたこのような供給システムには，バルク供給，分配設備，およびプロセス装置のアプリケーションが含まれる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e本書の要求条件は、UPWを使用し温度を上昇させた状態での材料および部品の試験に焦点を当てているが、本書のユーザーが検討する可能性のある知覚剤、酸化剤等の化学薬品ただし、考えられるすべての接液薬液に対する考え方な数の試験\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eパラメータ\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003eを定義することは，本書の範囲外である。 \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eを使用した試験，またはその他の温度条件での試験を行う可能性や，また，本書内の要求条件とは独立した独自の内部制限を避ける可能性を排除または制限することを意図したものではない。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e本仕様書は，ポリマー材料およびポリマー製部品の性能および評価焦点を当てている。概要の一覧は以下のとおりである。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e適合性の定量的な寸法\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e粒子クル発生最大\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e金属発生限界\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eイオン発生最大値\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e全有機（易酸化性）炭素発生限界\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e表面粗さ寸法\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e適合性の安定性の寸法\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cli\u003e機械特性\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e物理的特性\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e耐薬品性\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e信頼性\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003eトレーサビリティ要求条件\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003eパッケージング要求条件\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e証明\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e超純水（ \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eUPW \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e）\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\n\n\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e酸、 \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e塩基および酸化剤\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\n\n\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e水溶性塩溶液\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e有機溶媒\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e本書で規定されている要求条件を満たすポリマー材料および配管システムの部品は、¶ 1.3 で検討\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eUPW \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eおよび\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eLCDS \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eに適合するよう考慮されなければなりません。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e別々に購入しない限り，Oリング，ケットガスおよびダイアフラムのような小さな部品から造られたポリマー製部品は，個々の小さな部品としてではなく，機能部品単位で本書の要求条件を満足しなければならない。 \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e，ユニオン継手の一部となっているO \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eリングは，その品質を低下させないように，本書の要求条件を満たしていなくてもよい。代替するスペアパーツや部品は、適用可能な場合、本基準に適合すべきである。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e本書内で参照されている浸出テストとこれに関連する要求する条件は、静的な状態での数値を提供する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e本書およびまま関連テストは、供給されたの状態におけるポリマー製部品に対する接液部の性能の要求条件を規定し、ポリマー製部品メーカーの記録上、現状のプロセスが反映される。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E49 —\u003cspan lang=\"EN-GB\"\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003e高純度および超高純度の配管性能、サブアセンブリ、および最終アセンブリに関するガイド\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI F40 —\u003cspan lang=\"EN-GB\"\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003e化学試験用の液体化学薬品分配コンポーネントの準備の実践\u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI F61 —\u003cspan lang=\"EN-GB\"\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003e半導体プロセスで使用される超純水システムのガイド\u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI F104 —\u003cspan lang=\"EN-GB\"\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003e超純水および液体化学薬品供給システムで使用されるコンポーネントの評価のための粒子試験方法ガイドライン\u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI S2 —\u003cfont\u003e\u003cfont\u003e\u003cspan lang=\"EN-GB\"\u003e半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI F57-0314 - 置き換えられました","offer_id":40234263707715,"sku":"4066","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI F57-0312 - 置き換えられました","offer_id":40234263806019,"sku":"10918","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI F57-0301 - 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