{"product_id":"f04000-semi-f42-practice-for-preparing-liquid-chemical-distribution-components-for-chemical-testing","title":"F04000 - SEMI F42 - 半導体処理装置の瞬低耐性の試験方法","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e注意:\u003c\/b\u003eこの文書はグローバル技術委員会によるサポートを終了しました。 SEMI F47 に置き換えられました。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eこの文書の目的は、半導体プロセス、計測学、および自動テスト装置の電圧低下に対する感受性を特徴付けるために使用されるテスト方法を定義することです。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eこの文書は、機器の電圧低下期間と大きさの性能データを示すことによって、機器の電圧低下に対する感受性を特徴付けるために必要な試験手順と試験装置を定義します。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eこのテスト方法は、次の種類の機器を対象としていますが、これらに限定されません。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eエッチング装置（ドライおよびウェット）\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e成膜装置（CVD・PVD）\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e熱機器\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e表面の準備と清掃\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eフォトリソグラフィー装置（ステッパーおよびトラック）\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e化学機械研磨装置\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eイオン注入装置\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e計測機器\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e自動試験装置\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003eなし。\u003c\/font\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI F42-0200 - 交換済み","offer_id":40234355392579,"sku":"10953","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/FVolume_a870c53f-0979-4191-be6a-d69ec21dc0ef.png?v=1776701998","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/f04000-semi-f42-practice-for-preparing-liquid-chemical-distribution-components-for-chemical-testing","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}