{"product_id":"f03800-semi-f38-test-method-for-efficiency-qualification-of-point-of-use-gas-filters","title":"F03800 - SEMI F38 - ポイントオブユースガスフィルターの効率認定のための試験方法","description":"\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e注意:\u003c\/b\u003eこのドキュメントは 2019 年に完全に書き直されました。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの文書の目的は、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \n粒子濾過を評価するための包括的な標準テストシーケンス\n\n使用時点 (POU) ガスフィルターを使用して効率を達成できます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH1\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこのテスト方法は、次の評価方法を定義します。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eさまざまな媒体（金属、セラミック、ポリマーなど）の POU フィルターは通常、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e半導体用途における不活性ガスやプロセスガスのフィルタリングに使用されます。 POU\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eフィルターは比較的低い流量 (0.5 ～ 50 slm) を処理するように設計されており、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e適度に高い圧力降下。フィルターハウジングと濾過エレメントは、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e密封された分離不可能な 1 つのユニットに結合されます。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:bold'\u003eこのテスト\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\n\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:bold'\u003eこの方法は、POU ガスフィルターの同等または同等の能力を実証することを目的としています。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\n \nに挑戦した場合、特定の粒子濾過効率クラスを超えます。\n\n § に記載されているサイズ範囲の単分散エアロゾル\u003c!--[if supportFields]\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark:_Ref44410634\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"mso-element:field-begin\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark:_Ref44410634\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif; \n\nmso-bidi-font-weight:bold'\u0026gt; REF\n\n _Ref44403816 \\h \\r \\t\u003cspan style=\"mso-spacerun:yes\"\u003e \u003c\/span\u003e\\*\n\nマージフォーマット\u003cspan style=\"mso-element:field-separator\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-bidi-font-weight:bold'\u003e7.6\u003c\/span\u003e\u003c!--[if gte mso 9]\u003e\u003cxml\u003e \n\n\u003cdata\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-bidi-font-weight:bold'\u003e08D0C9EA79F9BACE118C8200AA004BA90B02000000080000000D0000005F00520065006600340034003400300033003800310036000000\u003c\/span\u003e \u003c\/data\u003e\n\n\u003c!--[if supportFields]\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark: \n\n_Ref44410634\"\u0026gt;\u003cspan style=\"mso-element:field-end\"\u003e\u003c\/span\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-bidi-font-weight:bold'\u003e。\u003c\/span\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style=\"line-height: 107%; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eなし。\u003c\/font\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI F38-0720 - 現在","offer_id":40234270031939,"sku":"14127","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI F38-0699 (再承認 0611) - 置き換えられました","offer_id":40234270130243,"sku":"4030","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI F38-0699 (再承認 1104) - 置き換えられました","offer_id":40234270294083,"sku":"10776","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI F38-0699 - 置き換えられました","offer_id":40234270359619,"sku":"10952","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/FVolume_ec844329-bf06-4aaa-b643-4b7d39f0e261.png?v=1776702765","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/f03800-semi-f38-test-method-for-efficiency-qualification-of-point-of-use-gas-filters","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}