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SEMI F38 - ユースポイントガスフィルタの効率資格付与を目的とした試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2011年5月13日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 www.semi.orgで入手可能となりました。初版は1999年6月発行。前版は、 2004年11月発行。
注意: この文書は、編集上の修正を考慮して再承認されました。
この文書の目的は、ユースポイント（POU）ガスフィルタを使用して達成可能な粒子クル濾過効率を資格付けるための、含まれた試験標準を定義することである。
参照されるSEMI規格なし。
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