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SEMI F30 - 据付現場における微量ガス不純物およびパーティクルに関する精製器性能テストの起動および検証 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Interfaces & Carriers Committee で技術的に承認されている。現版は2010年4月30日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 .org で入手可能となる。 初版は1998 年発行。
この手順の目的は精製器の性能を検証することであるが、したがって分析機器を使用するしガス不純物および粒子クルを顧客仕様書に合わせて測定して検証する。 が要求される場合，顧客と事前に打ち合わせを行うべきである。 この手順は，毎分50リットル（ LPM ）を超える大規模な流量のバルク精製器に対してだけ適用される。
参照されるSEMI規格
SEMI F58 — 大気圧イオン化質量分析法 (APIMS) による表面実装型および従来のガス供給システムの水分ドライダウン特性を測定するための試験方法
SEMI F68 — 浄化装置の効率を決定するための試験方法
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