{"product_id":"f02600-semi-f26-specification-for-particle-concentration-of-grade-10-0-2-toxic-specialty-gases","title":"F02600 - SEMI F26 - グレード 10\/0.2 有毒特殊ガスの粒子濃度の仕様","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2012 年 6 月 18 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 1 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は1997年6月。以前は 2012 年 7 月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書の目的は、10\/0.2 グレードの有毒特殊ガスの最大許容粒子濃度を設定し、その検証のための参考方法を説明することです。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書は、特殊ガス システムを通じて最大 8 × 105 Pa (8 気圧) の圧力で供給される有毒ガスにのみ適用されます。この方法は、8 × 105 Pa (8 気圧) を超える圧力の高圧シリンダーからの直接サンプリングには適していません。この文書は以下のガスにのみ適用されます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e • アンモニア (NH \u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e )\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e • アルシン (AsH \u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e )\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e • ホスフィン (PH \u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e )\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eなし。\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI F26-0118 - 現在","offer_id":40234283302979,"sku":"4086","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI F26-0697 (再承認 0712) - 置き換えられました","offer_id":40234283335747,"sku":"10907","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI F26-0697 (再承認 0303) - 置き換えられました","offer_id":40234283368515,"sku":"10764","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/FVolume_263a1947-4987-4ec0-9a72-a638272d73cb.png?v=1776702716","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/f02600-semi-f26-specification-for-particle-concentration-of-grade-10-0-2-toxic-specialty-gases","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}