{"product_id":"f02400-semi-f24-specification-for-particle-concentration-of-grade-10-0-2-inert-specialty-gases","title":"F02400 - SEMI F24 - グレード 10\/0.2 不活性特殊ガスの粒子濃度の仕様","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 5 月 16 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 12 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は1997年6月。以前は 2012 年 7 月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書の目的は、10\/0.2 グレードの不活性特殊ガスの最大許容粒子濃度を設定し、その検証のための参考方法を説明することです。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書は、特殊ガス システムを通じて最大 8 × 105 Pa (8 気圧) の圧力で供給される不活性ガスにのみ適用されます。この方法は、8 × 105 Pa (8 気圧) を超える圧力の高圧シリンダーからの直接サンプリングには適していません。この文書は以下のガスにのみ適用されます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e・アルゴン(Ar)\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e • ハロカーボン 23 (CHF \u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e )\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e • ハロカーボン 116 (C \u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e F \u003csub\u003e6\u003c\/sub\u003e )\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e • ヘリウム (He)\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e• 窒素 (N \u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e )\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e・六フッ化硫黄（SF \u003csub\u003e6\u003c\/sub\u003e ）\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e・テトラフルオロメタン(CF \u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003e )\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI C6.5 — パイプラインガスとして供給されるグレード 10\/0.2 の窒素 (N2) およびアルゴン (Ar) の粒子仕様\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI F24-1217 - 現在","offer_id":40234304438339,"sku":"4084","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI F24-0697 (再承認 0712) - 置き換えられました","offer_id":40234304471107,"sku":"10905","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI F24-0697 (再承認 0303) - 置き換えられました","offer_id":40234304503875,"sku":"10762","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/FVolume_888a0f02-30bc-4967-836f-c450b8492f16.png?v=1776702717","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/f02400-semi-f24-specification-for-particle-concentration-of-grade-10-0-2-inert-specialty-gases","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}