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SEMI F15 - パソコンの試験方法（六フッ化硫黄のトレーサガス）のSEMI S6への移行 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Environmental Health & Safety Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 .orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1993年発行。前版は2008年3月発行。
注意： 本書は、 2011年、バロット投票廃止により承認されました。
本書の目的は、SEMI F15が改訂され、その技術的な内容がSEMI S6の付属書2「トレーサガスを使用して漏洩放出物を測定するためのテスト方法」に取って代わられたことを示すことである。
参照されるSEMI規格SEMI F15-93 (再承認 1104) — 六フッ化硫黄トレーサーガスおよびガスクロマトグラフィーを使用したエンクロージャの試験方法
SEMI S6 — 半導体製造装置の排気換気に関する EHS ガイドライン
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