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SEMI F12 - フッ素樹脂製のための熱サイクル負荷後のシール性能決定の試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
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本試験方法は、フッ素樹脂製のためのシール性能について、高温の雰囲気中に暴露し、次に室温まで冷やした後（ここでは熱サイクルと呼ぶ）、性能評価をする画一の手法を提供するするものである。
本試験方法は、今後の熱的特性を本文中に定める条件の下で得られた試験データに基づいて特性づけるのに使用できるが、その結果により性能順位を暗示する意図はない。
本試験方法を置く場合は、該当の温度を23～125℃（73～257°F）の範囲で保持させなくても良い。
本試験方法に規定するチューブは、フッ素樹脂製としている。
本試験方法に規定する事前は、内部流体に接触する全ての部品がフッ素樹脂製である。ナット、グリッパ等の部品は、かなり樹脂製でなくてもよい。
チューブとの間のシールのみが本試験方法の評価の範囲内である。 その他のシールは、すべて本試験本法の範囲外である。
各種の規定メーカーの間比較のために本法を使用する場合、ユーザーは評価すべきチューブおよび適切な選択を明確に指定しなければなりません。
参照されるSEMI規格なし。
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